[實用新型]一種能自行降溫的磁控濺射倉室有效
| 申請號： | 200920094600.3 | 申請日： | 2009-10-29 |
| 公開（公告）號： | CN201530854U | 公開（公告）日： | 2010-07-21 |
| 發明（設計）人： | 楊繼澤;劉萬學;劉志才;崔慶春;程明輝;強艷建;李宇;魏含芳 | 申請（專利權）人： | 吉林慶達新能源電力股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;H01L31/18;H01J37/16;H01J37/02;H01J37/34 |
| 代理公司： | 吉林省長春市新時代專利商標代理有限公司 22204 | 代理人： | 石岱 |
| 地址： | 136001 *** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 自行 降溫 磁控濺射 | ||
【權利要求書】：
1.一種能自行降溫的磁控濺射倉室，該降溫裝置包括倉室主體(1)，其特征在于：它還包括反光板(2)，所述的反光板(2)設置在倉室主體(1)的內部。
2.根據權利要求1所述的一種能自行降溫的磁控濺射倉室，其特征在于：所述的反光板(2)分為四塊分別設置在倉室主體(1)內部的上、下、左右面上。
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