[實用新型]多晶硅還原爐殼體氣體冷卻裝置

無效

• 申請號: 200920090543.1
• 申請日: 2009-06-01
• 公開（公告）號: CN201433109Y
• 公開（公告）日: 2010-03-31
• 發明（設計）人: 林亮亮;趙雙喜;雷威躍;薛愛芳;李開英;趙閩
• 申請（專利權）人: 三門峽化工機械有限公司
• 主分類號: C01B33/03
• 分類號: C01B33/03
• 代理公司: 鄭州科維專利代理有限公司
• 代理人: 張欣棠;郭乃鳳

一、技術領域：

本實用新型涉及一種冷卻裝置，尤其是涉及一種多晶硅還原爐殼體氣體冷卻裝置。

二、背景技術：

多晶硅還原爐主要由底盤、含夾套冷卻介質的鐘罩式雙層爐體、電極、視鏡孔、底盤冷卻水進水管、底盤冷卻水出水管、電極冷卻水進水管、電極冷卻水出水管及其他附屬部件組成。爐體主體采用不銹鋼材質制成，以減少設備材質對產品的污染。在操作過程中爐內產生大量熱量，爐體溫度可達900℃左右，這是奧氏體不銹鋼難以承受的。因此殼體能否被充分冷卻至合適的溫度直接影響多晶硅還原爐的正常使用和多晶硅生產系統的安全運行。現有的冷卻方法主要是依靠導熱油在內筒與夾套之間流動帶走熱量，這種方法的缺點是當由于各種原因導熱油局部流通不暢時就會產生局部高溫使導熱油汽化甚至積炭，堵塞油通道而導致殼體溫度失控，嚴重時甚至發生殼體材料局部碳化、滲油，從而污染整個操作系統。

三、實用新型內容：

本實用新型所要解決的技術問題是：克服現有技術的不足，提供一種設計新穎、結構合理、冷卻效果好且安全可靠的多晶硅還原爐殼體氣體冷卻裝置。

本實用新型的技術方案是：

一種多晶硅還原爐殼體氣體冷卻裝置，含有夾套式殼體，所述夾套式殼體的上端設置有封頭，所述夾套式殼體的夾套外壁上設置有氣體分布腔，所述氣體分布腔與進氣管連通，被所述氣體分布腔覆蓋的所述夾套的外壁上設置一定數量的通氣孔，便于氣體從氣體分布腔進入所述夾套中，所述夾套與排氣管連通，便于所述夾套中的氣體排出。

所述夾套式殼體的夾套外壁上設置有一個從上到下的縱向通道，該縱向通道的兩端封閉，并且其下端與進氣管連通，所述氣體分布腔為多個且環形設置在所述夾套外壁上，每一所述氣體分布腔均設置一個斷口，并且所述斷口均位于所述縱向通道內，便于氣體從縱向通道進入氣體分布腔，所述夾套式殼體的上端設置有封頭，所述封頭下端與夾套連通，側壁與排氣管連通，便于所述夾套中的氣體排出。

所述通氣孔沿圓周均布，并且，所述通氣孔的孔徑為φ3mm～φ8mm。

所述氣體分布腔由槽鋼焊接在所述夾套外壁上而成。

本實用新型的有益效果是：

1、本實用新型在爐體的原有夾套外增加氣體分布腔，并且被氣體分布腔覆蓋的夾套上加工一定數量的通氣孔，氣體分布腔里的氣體通過通氣孔高速吹到殼體內筒外壁上帶走內筒金屬的熱量，以確保殼體保持在合適的溫度下工作，氣體的流動性好，不會出現阻滯現象，杜絕爐體殼體局部產生高溫，避免出現爐體殼體溫度失控的缺陷，因而其安全可靠，不會對還原爐及整個操作系統產生任何危害。

2、本實用新型氣體分布腔為環形且為多個，每一氣體分布腔由槽鋼制成，沿圓周焊接固定在殼體壁上，并且每一環形槽鋼的兩端頭均與進氣腔連通，這樣可以使冷卻氣體快速進入每一氣體分布腔，提高冷卻速度和冷卻效果。

3、本實用新型被分布腔覆蓋的夾套上加工一定數量的通氣孔，通氣孔的孔徑在φ3mm至φ8mm，這樣既能均勻進風，又能提高風速，快速將熱量帶走，冷卻效果更好。

4、本實用新型設計新穎、結構合理，既可以重新設計出新殼體，也可以對現有殼體進行改造，對現有殼體改造時增加的施工量很少，其制造成本較低，易于推廣，推廣后具有良好的經濟效益。

四、附圖說明：

圖1為多晶硅還原爐殼體氣體冷卻裝置的結構示意圖；

圖2為圖1所示多晶硅還原爐殼體氣體冷卻裝置的俯視圖；

圖3為圖1中A-A剖視放大圖。

五、具體實施方式：

實施例：參見圖1、圖2和圖3，圖中，多晶硅還原爐殼體氣體冷卻裝置含有夾套式殼體7，夾套式殼體7的上端設置有封頭6，該封頭6的下端與夾套式殼體7的夾套3連通，夾套式殼體7的夾套3外壁上設置有一個從上到下的縱向通道2，該縱向通道2的兩端封閉，并且其下端與進氣管1連通，夾套3外壁上設置有多個氣體分布腔4，每一氣體分布腔4均設置一個斷口，并且斷口均位于縱向通道內2，便于氣體從縱向通道2進入氣體分布腔4，被氣體分布腔4覆蓋的夾套3的外壁上設置一定數量的通氣孔8，便于氣體從氣體分布腔4進入夾套3中，封頭6與排氣管5連通，便于夾套3中的氣體排出。

通氣孔8沿圓周均布。通氣孔8的孔徑為φ3mm～φ8mm。氣體分布腔4由槽鋼焊接在夾套3外壁上而成。

工作時，冷卻氣體由進氣管1進入縱向通道2，并且通過斷口進入到每一氣體分布腔4中，再通過通氣孔8進入到夾套3中，夾套式殼體7內產生的熱量由夾套3中的冷卻氣體經封頭6和排氣管5排出，以確保殼體保持在合適的溫度下工作。

改變氣體分布腔的具體結構形式和數量、改變縱向通道的結構形式、改變封頭和排氣管的具體結構形式、以及改變通氣孔的數量和形狀能夠組成多個實施例，均為本實用新型的常見變化范圍，在此不一一詳述。