[實用新型]半導體測試儀測試頭的界面板

無效

• 申請號: 200920074722.6
• 申請日: 2009-11-26
• 公開（公告）號: CN201548560U
• 公開（公告）日: 2010-08-11
• 發明（設計）人: 桑浚之;辛吉升
• 申請（專利權）人: 上海華虹NEC電子有限公司
• 主分類號: G01R1/02
• 分類號: G01R1/02
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 張驥

技術領域

本實用新型涉及一種半導體測試儀，具體涉及一種半導體測試儀測試頭的界面板。

背景技術

測試儀在使用過程中，需要與探針臺之間進行物理連接。目前，測試儀的測試頭與探針臺通過探針臺上的彈簧針陣列塔形連接器(pogo)實現物理連接，這就需要使測試儀測試頭的界面板上的測試觸點(pogo?pad)與探針臺上的彈簧針(pogo?pin)的位置相匹配。

一般情況下，測試頭上的pogo?pad，以及探針臺上的pogo?pin均設置于所在臺面的中央位置，這樣的匹配是在購買新機臺時就已經考慮好的。

但是由于某些原因，所購買新機臺的測試頭與探針臺之間不能實現完整的物理匹配，當測試頭的功能板(performance?board，PB板)如圖1所示，功能板10上的測試觸點(pogo?pad)1排列成為多個矩形框，且測試觸點1位于功能板10的中央位置；而探針臺如圖2所示，探針臺20上的彈簧針(pogo?pin)2為圓型排列，且彈簧針2也位于探針臺20的中央位置。

為了使功能板10的測試觸點1與探針臺20的彈簧針2實現良好匹配，目前采用的方法是對探針臺20進行改造，改變探針臺20上彈簧針2的排列及位置成為圖3所示，以使其與測試頭進行物理匹配。但是這種改造方法的成本很高，不僅需要將彈簧針2的排列改為矩形框，而且還需將彈簧針陣列的位置左移，以使探針臺20的左端與測試頭功能板10的左端對齊，這就增加了測試費用。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種半導體測試儀測試頭的界面板，它可以減少設備改造成本，降低測試費用。

為解決上述技術問題，本實用新型半導體測試儀測試頭的界面板的技術解決方案為：

包括測試頭功能板、測試觸點，測試觸點設置于功能板的表面；所述測試觸點的排列形狀與探針臺上彈簧針的排列形狀一致；測試觸點陣列與探針臺上彈簧針的陣列位置相同。

所述測試觸點為圓型排列。

所述測試觸點陣列所在位置偏離功能板的中心位置，與探針臺上彈簧針的位置相匹配。

所述功能板靠近測試觸點陣列的一端設有補強筋。

本實用新型可以達到的技術效果是：

本實用新型能夠在不改造探針臺的基礎上使功能板上的測試觸點的排列及位置與探針臺上的彈簧針相匹配，從而使測試頭功能板與探針臺相匹配，達到節約改造費用的目的。

附圖說明

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明：

圖1是現有技術半導體測試儀測試頭的界面板的示意圖；

圖2是現有技術探針臺的示意圖；

圖3是與圖1的測試頭相匹配的探針臺的示意圖；

圖4是本實用新型半導體測試儀測試頭的界面板的示意圖，其與圖2的探針臺相匹配。

圖中附圖標記說明：

10為測試頭功能板，??????????????1為測試觸點(pogo?pad)，

20為探針臺，????????????????????2為彈簧針(pogo?pin)，

3為補強筋。

具體實施方式

本實用新型半導體測試儀測試頭的界面板，包括測試頭功能板10、測試觸點1，測試觸點1設置于功能板10的表面，測試觸點1的排列形狀與探針臺20上彈簧針2的排列形狀一致；測試觸點1陣列與探針臺20上彈簧針2的陣列位置相同。

如圖4所示，測試觸點1為圓型排列，且測試觸點1陣列所在位置偏離功能板10的中心位置，與探針臺20上彈簧針2的位置相匹配。

功能板10靠近測試觸點1陣列的一端設有補強筋3。

本實用新型的測試觸點1陣列偏離了功能板10的中心位置，因此功能板10所受壓力的中心也有所偏移，本實用新型通過設置補強筋3使功能板10所受壓力均衡。