[實用新型]半導體設備的晶片傳送裝置無效
| 申請號： | 200920074679.3 | 申請日： | 2009-11-12 |
| 公開（公告）號： | CN201549487U | 公開（公告）日： | 2010-08-11 |
| 發明（設計）人： | 陸斌;沈劍平;林振芳 | 申請（專利權）人： | 上海華虹NEC電子有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/677 | 分類號： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海浦一知識產權代理有限公司 31211 | 代理人： | 張驥 |
| 地址： | 201206 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體設備 晶片 傳送 裝置 | ||
1.一種半導體設備的晶片傳送裝置，包括依次橫向排列的傳送皮帶、傳送滾軸、回收裝置傳送帶，傳送滾軸上縱向設置有傳送梭；傳送滾軸由滾軸驅動馬達驅動，滾軸驅動馬達由間歇式驅動電源帶動；其特征在于：
所述傳送皮帶與傳送滾軸之間設置第一傳感器，傳送滾軸下方設置第二傳感器，所述兩個傳感器分別連接傳感器繼電器；當傳感器感測到有晶片時，其傳感器繼電器閉合；
所述滾軸驅動馬達還設有恒定電源，滾軸驅動馬達通過電源繼電器分別與間歇式驅動電源、恒定電源連接，由電源繼電器切換滾軸驅動馬達的驅動電源；電源繼電器與所述兩個傳感器繼電器串聯；當兩個傳感器繼電器閉合時，電源繼電器切換，滾軸驅動馬達由恒定電源驅動。
2.根據權利要求1所述的半導體設備的晶片傳送裝置，其特征在于：所述兩個傳感器繼電器、電源繼電器所在的串聯線路設置于自鎖回路中，自鎖回路串聯有發光報警器和蜂鳴報警器，發光報警器與蜂鳴報警器彼此并聯。
3.根據權利要求2所述的半導體設備的晶片傳送裝置，其特征在于：所述自鎖回路中串聯有復位開關。
4.根據權利要求1所述的半導體設備的晶片傳送裝置，其特征在于：所述恒定電源所在支路上串聯有可調電阻。
5.根據權利要求1所述的半導體設備的晶片傳送裝置，其特征在于：所述恒定電源為外接的3VDC。
6.根據權利要求1所述的半導體設備的晶片傳送裝置，其特征在于：所述兩個傳感器之間的橫向距離大于晶片的直徑。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
