[實用新型]高真空系統去污結構的控制系統裝置

有效

• 申請號: 200920074495.7
• 申請日: 2009-09-14
• 公開（公告）號: CN201498476U
• 公開（公告）日: 2010-06-02
• 發明（設計）人: 康海峰;吳明康
• 申請（專利權）人: 上海泰雷茲電子管有限公司
• 主分類號: H01J9/12
• 分類號: H01J9/12;B08B3/00;G05D27/02;G05B19/05
• 代理公司: 上海碩力知識產權代理事務所 31251
• 代理人: 童素珠

技術領域

本實用新型涉及一種高真空系統清潔維護以及其對光電陰極影響的改進裝置，尤指一種用于對光電陰極制備過程中真空系統的清潔維護使用，達到清洗高真空系統的一種去污結構的控制系統裝置。

背景技術

在X射線影像增強器件中，對紫外光譜的感應是由光電陰極來實現的。光電陰極是將光信號轉換成電信號的關鍵。它的制作過程是在真空中進行的，與其它部分相比，它的一致性較差，所以光電陰極的制作往往是這類器件的難點。所謂的一致性較差，主要體現在在光電陰極制備中，經常出現光電陰極靈敏度不高，甚至無法進行銻、銫交替以及像面有明顯霧狀、暗斑、不規則陰影等現象，嚴重地影響制管成品率。

發明內容

為了克服上述不足之處，本實用新型的主要目的旨在提供一種真空系統和熱氮置換維護系統結構，在機械方面，增設了一套沖氮裝置，在電氣方面，建立了一套基于可編程控制器PLC的溫度控制系統、沖抽氮壓控制系統用于分別控制沖洗真空系統時的熱量交換和氮氣置換，使之達到清洗高真空系統的高真空系統去污結構的控制系統裝置。

本實用新型要解決的技術問題是：主要解決如何設計一套熱氮置換維護系統來改善真空系統問題；要解決如何易于重復操作，無重大安全隱患問題；要解決如何著眼于平時的維護和同樣適用于應急或補救措施等有關技術問題。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：該裝置包括真空系統及光電陰極等部件，還包括：機械泵、分子泵、冷規、電離規管、電磁閥門、壓力控制閥和氣體過濾器，在原真空系統中增設了一套沖氮裝置，以及增設一套基于可編程邏輯控制器PLC的溫度控制系統和沖抽氮壓控制系統，上述各部件組合為一整體的清洗高真空系統，該系統至少包括有：

一分子泵增設了前級閥門，分子泵的第一路通過不銹鋼管道與電磁閥門D的一端相互聯接，電磁閥門D的另一端通過不銹鋼管道與電磁閥門E的一端相互聯接后整個系統密閉，電磁閥門E的另一端依次通過不銹鋼管道與壓力控制閥和氣體過濾器相互聯接；分子泵的第二路通過不銹鋼管道與電離規管相互聯接；分子泵的第三路通過不銹鋼管道經由電磁閥門B與冷規B的一端相互聯接；

一機械泵依次通過不銹鋼管道經由電磁閥門A和電磁閥門C與冷規A的一端相互聯接；

一電離規管通過不銹鋼管道與分子泵和電磁閥門D的連接點相互聯接。

進一步的，所述的高真空系統去污結構的控制系統裝置的不銹鋼管道為310不銹鋼管道，并在其管道上纏繞有加熱帶。

本實用新型的有益效果是：本系統基于平時定期真空系統維護使用和系統受污后的應急救護，取得了良好的效果：在制備光電陰極后的預測，其陰影發生率大大降低，減少了影像增強器的返修量；針對制作光電陰極的關鍵設備，建立了以平時保養為主，臨時應急為輔的保養維護制度，有力、有利、有效地管理起該關鍵設備；相比起其他有關廠家的相關設備使用氮氫混合沖洗，該系統更加安全可靠；同時由于引入了自動化控制概念，減少了保養的人力投入，避免了人為保養所引起的差異，具有操作方便，無重大安全隱患等優點。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

附圖1是本實用新型真空系統加熱氮置換維護系統結構示意圖；

附圖中標號說明：

SP-機械泵；

TP-分子泵；

CDG1-冷規A；

CDG2-冷規B；

HVG-電離規管；

V1-電磁閥門A；

V2-電磁閥門B；

V3-電磁閥門C；

V4-電磁閥門D；

V5-電磁閥門E；

V6-壓力控制閥；

V7-氣體過濾器；

具體實施方式

請參閱附圖1所示，本實用新型包括真空系統及光電陰極等部件，還包括：機械泵SP、分子泵TP、冷規CDG、電離規管HVG、電磁閥門、壓力控制閥V6和氣體過濾器V7，在原真空系統中增設了一套沖氮裝置，以及增設一套基于可編程邏輯控制器PLC的溫度控制系統和沖抽氮壓控制系統，上述各部件組合為一整體的清洗高真空系統，該系統至少包括有：

一分子泵TP增設了前級閥門，分子泵TP的第一路通過不銹鋼管道與電磁閥門DV4的一端相互聯接，電磁閥門DV4的另一端通過不銹鋼管道與電磁閥門EV5的一端相互聯接后整個系統密閉，電磁閥門EV5的另一端依次通過不銹鋼管道與壓力控制閥V6和氣體過濾器V7相互聯接；分子泵TP的第二路通過不銹鋼管道與電離規管HVG相互聯接；分子泵TP的第三路通過不銹鋼管道經由電磁閥門BV2與冷規B?CDG2的一端相互聯接；