[實用新型]高真空系統去污結構的控制系統裝置

有效

• 申請號: 200920074495.7
• 申請日: 2009-09-14
• 公開（公告）號: CN201498476U
• 公開（公告）日: 2010-06-02
• 發明（設計）人: 康海峰;吳明康
• 申請（專利權）人: 上海泰雷茲電子管有限公司
• 主分類號: H01J9/12
• 分類號: H01J9/12;B08B3/00;G05D27/02;G05B19/05
• 代理公司: 上海碩力知識產權代理事務所 31251
• 代理人: 童素珠

1.一種高真空系統去污結構的控制系統裝置，包括真空系統及光電陰極，其特征在于還包括：機械泵(SP)、分子泵(TP)、冷規(CDG)、電離規管(HVG)、電磁閥門、壓力控制閥(V6)和氣體過濾器(V7)，在原真空系統中增設了一套沖氮裝置，以及增設一套基于可編程邏輯控制器PLC的溫度控制系統和沖抽氮壓控制系統，上述各部件組合為一整體的清洗高真空系統，該系統至少包括有：

一分子泵(TP)增設了前級閥門，分子泵(TP)的第一路通過不銹鋼管道與電磁閥門D(V4)的一端相互聯接，電磁閥門D(V4)的另一端通過不銹鋼管道與電磁閥門E(V5)的一端相互聯接后整個系統密閉，電磁閥門E(V5)的另一端依次通過不銹鋼管道與壓力控制閥(V6)和氣體過濾器(V7)相互聯接；分子泵(TP)的第二路通過不銹鋼管道與電離規管(HVG)相互聯接；分子泵(TP)的第三路通過不銹鋼管道經由電磁閥門B(V2)與冷規B(CDG2)的一端相互聯接；

一機械泵(SP)依次通過不銹鋼管道經由電磁閥門A(V1)和電磁閥門C(V3)與冷規A(CDG1)的一端相互聯接；

一電離規管(HVG)通過不銹鋼管道與分子泵(TP)和電磁閥門D(V4)的連接點相互聯接。

2.根據權利要求1所述的高真空系統去污結構的控制系統裝置，其特征在于：所述的不銹鋼管道為310不銹鋼管道，并在其管道上纏繞有加熱帶。