[實用新型]檢測加熱圈上交流電和射頻共存的裝置

無效

• 申請號: 200920073968.1
• 申請日: 2009-05-26
• 公開（公告）號: CN201408745Y
• 公開（公告）日: 2010-02-17
• 發明（設計）人: 陸斌;徐伯山;林振芳
• 申請（專利權）人: 上海華虹NEC電子有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/66;H01L21/31
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司
• 代理人: 孫大為

技術領域

本實用新型涉及一種半導體制造設備，特別是涉及一種半導體制造用設備上的檢測裝置。

背景技術

目前，在半導體制造過程中，往往需要在硅片上生成SiO₂薄膜。而這些用來在硅片上生成SiO₂薄膜的機臺上需要設置加熱器部件，在這些加熱部件上交流電和射頻都接在同一個回路加熱線圈(side?coil，特指機臺上的一個回路組合件)上面。該回路加熱線圈用來對機臺特定部分進行加熱，并且用來將射頻導入到該特定部位。考慮到需要加熱的位置和射頻要導入的位置在機臺的同一位置，且安裝空間有限，故將交流加熱線圈與射頻導入線圈一同做在該回路加熱線圈上面。

如圖1所示，交流電所接加熱圈與射頻所接射頻圈緊密固定在一起，組成所說的加熱線圈。

正常情況下，交流電一直接在加熱線圈上對被加熱的陶瓷器件進行加熱；當射頻開啟時，交流電從加熱線圈上斷開，射頻導入到加熱線圈上；當射頻停掉的時候，交流電又重新接到加熱線圈上。這樣交流電和射頻在加熱線圈上交替出現，但不會同時出現。但是當出現控制交流電通斷的器件壞掉等情況時，就會出現交流電和射頻同時出現在加熱線圈上的情況，時間久了加熱線圈就會因過熱被燒壞。

目前，通過裝在射頻柜里的可編程邏輯控制器(PLC)來發出直流控制信號，這個信號來控制繼電器的通斷，從而來實現交流電和射頻交替加載到加熱線圈上的功能。目前設備存在的缺陷是這套東西只控制動作，沒有反饋監控。當PLC或繼電器出現問題時，無法及時發現當射頻加到加熱線圈上時交流電仍沒有從加熱線圈上斷開。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是提供一種可以監控是否存在交流電和射頻同時出現在加熱線圈上的裝置，能夠保護加熱線圈不因過熱被燒壞。

為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種檢測加熱圈上交流電和射頻共存的裝置，交流檢測裝置，其輸入端連接至交流電接入加熱線圈的連接點，所述輸入端通過變壓器連接到固態繼電器的輸入端，使得當接點的電壓高于一特定值時，固態繼電器導通，輸出一電壓至信號處理單元；射頻檢測裝置，其輸入端連接至加熱線圈前端繼電器的控制電路的連接點，當射頻開啟或關閉時輸出一電壓至信號處理單元；信號處理單元，連接交流檢測裝置和射頻檢測裝置的輸出端，對所述交流檢測裝置的輸出電壓和射頻檢測裝置的輸出電壓進行邏輯運算，檢測到是否存在交流電和射頻共存的的情況。

本實用新型的有益效果在于：可以有效監控是否存在交流電和射頻同時出現在加熱線圈上，從而保護加熱線圈不因長時間過熱被燒壞。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型做進一步的詳細說明。

圖1為目前交流電和射頻都接在同一個回路加熱線圈的示意圖；

圖2為本實用新型實施例的示意圖。

具體實施方式

如圖2所示的本實用新型所述的實施例，當交流電和射頻同時出現在加熱線圈上時，機臺可以發出報警。所以與報警裝置相連接一個檢測器，分別從加熱器和射頻接出一路信號作為監測器的兩個輸入信號，檢測器的輸出信號送給機臺，作為機臺的報警信號。