[實用新型]檢測加熱圈上交流電和射頻共存的裝置

無效

• 申請號: 200920073968.1
• 申請日: 2009-05-26
• 公開（公告）號: CN201408745Y
• 公開（公告）日: 2010-02-17
• 發明（設計）人: 陸斌;徐伯山;林振芳
• 申請（專利權）人: 上海華虹NEC電子有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/66;H01L21/31
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司
• 代理人: 孫大為

1.一種檢測加熱圈上交流電和射頻共存的裝置，其特征在于，包括：

交流檢測裝置，其輸入端連接至交流電接入加熱線圈的連接點，所述輸入端通過變壓器連接到固態繼電器的輸入端，使得當接點的電壓高于一特定值時，固態繼電器導通，輸出一電壓至信號處理單元；

射頻檢測裝置，其輸入端連接至加熱線圈前端繼電器的控制電路的連接點，當射頻開啟或關閉時輸出一電壓至信號處理單元；

信號處理單元，連接交流檢測裝置和射頻檢測裝置的輸出端，對所述交流檢測裝置的輸出電壓和射頻檢測裝置的輸出電壓進行邏輯運算，檢測到是否存在交流電和射頻共存的的情況。

2.如權利要求1所述的檢測加熱圈上交流電和射頻共存的裝置，其特征在于，所述射頻檢測裝置當射頻開啟的時候，其兩端上電壓為零；當射頻關閉的時候，其兩端上有直流電壓；

所述射頻檢測裝置將上述電壓取反。

3.如權利要求1所述的檢測加熱圈上交流電和射頻共存的裝置，其特征在于，所述的信號處理單元將所述交流檢測裝置的輸出電壓和射頻檢測裝置的輸出電壓進行“與”運算，得到電壓V3。

4.如權利要求3所述的檢測加熱圈上交流電和射頻共存的裝置，其特征在于，所述的信號處理單元將所述電壓V3取反得到電壓V4。

5.如權利要求4所述的檢測加熱圈上交流電和射頻共存的裝置，其特征在于，所述的信號處理單元連接到機臺保護裝置，當電壓V4顯示有交流電和射頻共存時，關閉加熱線圈。