[實用新型]檢測加熱圈上交流電和射頻共存的裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200920073968.1 | 申請日: | 2009-05-26 |
| 公開(公告)號: | CN201408745Y | 公開(公告)日: | 2010-02-17 |
| 發(fā)明(設計)人: | 陸斌;徐伯山;林振芳 | 申請(專利權)人: | 上海華虹NEC電子有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/00 | 分類號: | H01L21/00;H01L21/66;H01L21/31 |
| 代理公司: | 上海浦一知識產(chǎn)權代理有限公司 | 代理人: | 孫大為 |
| 地址: | 201206上*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 檢測 加熱 上交 流電 射頻 共存 裝置 | ||
1.一種檢測加熱圈上交流電和射頻共存的裝置,其特征在于,包括:
交流檢測裝置,其輸入端連接至交流電接入加熱線圈的連接點,所述輸入端通過變壓器連接到固態(tài)繼電器的輸入端,使得當接點的電壓高于一特定值時,固態(tài)繼電器導通,輸出一電壓至信號處理單元;
射頻檢測裝置,其輸入端連接至加熱線圈前端繼電器的控制電路的連接點,當射頻開啟或關閉時輸出一電壓至信號處理單元;
信號處理單元,連接交流檢測裝置和射頻檢測裝置的輸出端,對所述交流檢測裝置的輸出電壓和射頻檢測裝置的輸出電壓進行邏輯運算,檢測到是否存在交流電和射頻共存的的情況。
2.如權利要求1所述的檢測加熱圈上交流電和射頻共存的裝置,其特征在于,所述射頻檢測裝置當射頻開啟的時候,其兩端上電壓為零;當射頻關閉的時候,其兩端上有直流電壓;
所述射頻檢測裝置將上述電壓取反。
3.如權利要求1所述的檢測加熱圈上交流電和射頻共存的裝置,其特征在于,所述的信號處理單元將所述交流檢測裝置的輸出電壓和射頻檢測裝置的輸出電壓進行“與”運算,得到電壓V3。
4.如權利要求3所述的檢測加熱圈上交流電和射頻共存的裝置,其特征在于,所述的信號處理單元將所述電壓V3取反得到電壓V4。
5.如權利要求4所述的檢測加熱圈上交流電和射頻共存的裝置,其特征在于,所述的信號處理單元連接到機臺保護裝置,當電壓V4顯示有交流電和射頻共存時,關閉加熱線圈。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





