[實用新型]一種硅單晶爐晶棒托架

有效

• 申請號: 200920073066.8
• 申請日: 2009-05-27
• 公開（公告）號: CN201406481Y
• 公開（公告）日: 2010-02-17
• 發明（設計）人: 湯旋
• 申請（專利權）人: 上海申和熱磁電子有限公司
• 主分類號: C30B15/30
• 分類號: C30B15/30;C30B29/06
• 代理公司: 上海天翔知識產權代理有限公司
• 代理人: 呂 伴

技術領域：

本實用新型涉及一種硅單晶爐晶棒托架。

背景技術：

CZ法直拉單晶爐一般有主爐室和輔爐室，當單晶生長結束后，要將單晶升至輔爐室，并打開輔爐室，取出單晶。單晶是懸在輔爐室中的，要取出單晶，需要把輔爐室旋轉到單晶爐的一側，然后下降單晶至輔爐室外，從而取出單晶。由于懸在輔爐室中的單晶與籽晶夾頭之間有一段是直徑約6～14mm的籽晶，這段籽晶的抗折強度很差，抗拉強度也較小，容易出現斷裂，因此在單晶升至輔爐室時，需要一個安全裝置——晶棒托架，來保護單晶，在籽晶斷裂時可以托住單晶，防止安全事故發生。原有的晶棒托架是固定“L”型的，由多個螺絲與單晶爐上爐體左側連接，懸掛在單晶爐上，離地面大約1700MM，這樣的高度經常會碰到操作員工，存在安全隱患，另外這樣的晶棒托架占用比較大的空間，給單晶生產操作帶來很大的不便，也影響單晶爐的外觀。同時在爐筒下降過程中壓壞附設的控制箱或者相機架，導致設備故障，如果壓壞冷卻水管其后果的嚴重性可想而知。

為了解決上述技術問題，業界有一種可旋轉的晶棒托架問世，該可旋轉的晶棒托架通過一根轉軸安裝在單晶爐上爐體左側并可繞該轉軸轉動，使用時向外翻轉出來，不使用時向內翻轉收起來。但是這樣的可旋轉的晶棒托架容易造成干涉。

還有上述晶棒托架和可旋轉的晶棒托架中的托架板是不可以折疊的，操作時需要多人合作共同抬起晶棒，方可移開托架，其操作的不安全因素很多，易導致安全事故的發生。

實用新型內容：

本實用新型所要解決的技術問題在于提供一種空間占用量小，無安全隱患，方便操作的硅單晶爐晶棒托架。

本實用新型所要解決的技術問題可以通過以下技術方案來實現：

一種硅單晶爐晶棒托架，包括一個L形托架，該L形托架包括一個固定在單晶爐上爐體上的托架固定導柱和托架板，其特征在于，所述托架板活動安裝在所述托架固定導柱的底端。

在本實用新型一個優選實施例中，所述托架板鉸接于所述托架固定導柱的底端。

所述托架板通過一拉臂與所述托架固定導柱連接。所述拉臂由第一拉臂和第二拉臂構成，所述第一拉臂的一端鉸接于所述托架固定導柱上，第一拉臂的另一端與第二拉臂的一端鉸接，第二拉臂的另一端與托架板鉸接。

由于采用了上述技術方案，本實用新型在使用時，可先將托架板向下翻轉至完全打開狀態，放到上爐筒的下面，下降晶棒至托架板剛好接觸穩固晶棒，旋轉爐筒至安全取棒位置，上升晶棒離開托架板，使晶棒下降到取棒車中，移動晶棒車以后把托架板向上翻轉至折疊狀態，這樣不會碰到操作員，在取籽晶時有更大的空間，最大程度的減少人身傷害。另在取晶棒時，有時會出現旋轉爐筒時，籽晶斷裂，導致晶棒墜落在托架板上，在這種狀況下，可以用千斤頂頂起托架板，使晶棒上升到一定的高度，用雙月牙形的夾具固定晶棒在上爐筒的法蘭口，移開托架板，再行取棒。本實用新型具有如下優點：1、操作便利和靈活；2、減少人身傷害事故的發生；3、減少設備的安全隱患和降低設備故障率；4、結構簡單，實用安全，免維護。

附圖說明：

以下結合附圖和具體實施方式來進一步說明本實用新型。

圖1為本實用新型硅單晶爐晶棒托架處于打開狀態的示意圖。

圖2為本實用新型硅單晶爐晶棒托架處于收疊狀態的示意圖。

具體實施方式：

為了使本實用新型實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合具體圖示，進一步闡述本實用新型。

本實用新型為解決現有晶棒托架占用空間較大，使用過程中容易損壞設備和碰傷工作人員的問題，而采用如圖1所示的一種硅單晶爐晶棒托架。

參照圖1，為本實用新型提供的一種硅單晶爐晶棒托架，包括托架固定板1、托架固定導柱2、托架板4，托架固定板1焊接在托架固定導柱2的頂端，而托架固定板1被螺栓固定在單晶爐上爐體(圖中未示出)上，因此整個晶棒托架就是通過托架固定板1固定在單晶爐上爐體上。

托架板4活動安裝在托架固定導柱2底端，可以如本具體實施方式中那樣，采用轉銷7鉸接于托架固定導柱2的底端。也可以另外采用伸縮方式安裝在托架固定導柱2的底端。但優先采用前一種活動安裝方式，當晶棒托架不用時，可將托架板4向上轉動至90度折疊起來，當單晶爐要取出晶棒時，可以將托架板4向下伸展達到水平方向，使得托架板4與托架固定導柱2之間形成“L”狀。

在晶棒取出過程中托架板4起到支撐晶棒的作用，避免了籽晶在受到意外沖擊力折斷時會墜落造成人身傷害和產品的損失。