[實用新型]一種硅單晶爐晶棒托架有效
| 申請號： | 200920073066.8 | 申請日： | 2009-05-27 |
| 公開（公告）號： | CN201406481Y | 公開（公告）日： | 2010-02-17 |
| 發明（設計）人： | 湯旋 | 申請（專利權）人： | 上海申和熱磁電子有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/30 | 分類號： | C30B15/30;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海天翔知識產權代理有限公司 | 代理人： | 呂 伴 |
| 地址： | 200444上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 硅單晶爐晶棒 托架 | ||
【權利要求書】：
1、一種硅單晶爐晶棒托架，包括一個L形托架，該L形托架包括一個固定在單晶爐上爐體上的托架固定導柱和托架板，其特征在于，所述托架板活動安裝在所述托架固定導柱的底端。
2、如權利要求1所述的硅單晶爐晶棒托架，其特征在于，所述托架板鉸接于所述托架固定導柱的底端。
3、如權利要求2所述的硅單晶爐晶棒托架，其特征在于，所述托架板通過一拉臂與所述托架固定導柱連接，所述拉臂由第一拉臂和第二拉臂構成，所述第一拉臂的一端鉸接于所述托架固定導柱上，第一拉臂的另一端與第二拉臂的一端鉸接，第二拉臂的另一端與托架板鉸接。
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