[實(shí)用新型]鉻版膜針孔微觀缺陷自動(dòng)檢查儀光源同步懸臂

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200920065195.2
• 申請(qǐng)日: 2009-04-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201331490Y
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-10-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳武;楊小軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 湖南通源機(jī)電科技有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/01
• 分類號(hào): G01N21/01;G01N21/894
• 代理公司: 長(zhǎng)沙星耀專利事務(wù)所
• 代理人: 寧星耀

1、一種鉻版膜針孔微觀缺陷自動(dòng)檢查儀光源同步懸臂，包括連接臂桿、上懸臂、下懸臂，上懸臂通過(guò)連接臂桿與下懸臂相連，其特征在于，上懸臂與下懸臂相互平行，上懸臂上設(shè)有用于與機(jī)器人Y軸滑塊和微調(diào)裝置底板固定的F形固定器；上懸臂和下懸臂兩側(cè)安裝有加強(qiáng)板；下懸臂與CCD成像系統(tǒng)相應(yīng)的位置設(shè)有光源固定塊，所述光源固定塊上設(shè)有光源位置限定螺釘；下懸臂靠近右端處設(shè)有用于安裝另一光源的直線滑軌，所述直線滑軌上也設(shè)有光源固定塊，所述光源固定塊上也設(shè)有光源位置限定螺釘；下懸臂最右端設(shè)有限位塊。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的鉻版膜針孔微觀缺陷自動(dòng)檢查儀同步懸臂，其特征在于，連接臂桿、上懸臂和下懸臂為方形結(jié)構(gòu)。