[實(shí)用新型]應(yīng)用于硅料清洗機(jī)上的機(jī)械手結(jié)構(gòu)

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200920054503.1
• 申請(qǐng)日: 2009-04-14
• 公開（公告）號(hào): CN201404942Y
• 公開（公告）日: 2010-02-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉世全
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 劉世全
• 主分類號(hào): B08B13/00
• 分類號(hào): B08B13/00;B25J13/00
• 代理公司: 江門嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司
• 代理人: 李柏林

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種機(jī)械手，特別是一種應(yīng)用于對(duì)半導(dǎo)體、硅片、去磷硅玻璃進(jìn)行清洗的硅料清洗機(jī)上的機(jī)械手結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

目前，有一種全自動(dòng)硅料清洗機(jī)，該硅料清洗機(jī)內(nèi)設(shè)有溶液槽和清洗籃，在硅料清洗機(jī)內(nèi)還安裝有機(jī)械手，通過機(jī)械手來搬運(yùn)清洗籃，通常機(jī)械手安裝在機(jī)體上部，由于機(jī)體內(nèi)的腔室很大，機(jī)械手所經(jīng)過的路程較長，在提起清洗籃后運(yùn)行時(shí)容易偏斜，剎車不夠靈活，針對(duì)上述缺點(diǎn)，有必要作出改進(jìn)。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供一種結(jié)構(gòu)合理、運(yùn)行平穩(wěn)、剎車靈活、反應(yīng)快的應(yīng)用于硅料清洗機(jī)上的機(jī)械手結(jié)構(gòu)。

本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：

應(yīng)用于硅料清洗機(jī)上的機(jī)械手結(jié)構(gòu)，包括絲桿，所述絲桿下端設(shè)有機(jī)械臂，位于機(jī)械臂上安裝有吊鉤，所述絲桿頂部設(shè)有頂板，該頂板頂部設(shè)有水平驅(qū)動(dòng)電機(jī)和上下驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述水平驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過齒輪機(jī)構(gòu)帶動(dòng)整個(gè)機(jī)械手活動(dòng)，所述上下驅(qū)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)絲桿使其上的機(jī)械臂和吊鉤上下運(yùn)動(dòng)，位于頂板左、右底部分別設(shè)有套軌和底面帶弧形槽的導(dǎo)向定位塊，在硅料清洗機(jī)頂部設(shè)有嵌入套軌的左導(dǎo)軌和與導(dǎo)向定位塊底面相嵌的右導(dǎo)軌。

其中，所述絲桿外套有密封罩。

本實(shí)用新型的有益效果是：通過在頂板左、右底部分別設(shè)置套軌和底面帶弧形槽的導(dǎo)向定位塊，以及在硅料清洗機(jī)頂部設(shè)有嵌入套軌的左導(dǎo)軌和與導(dǎo)向定位塊底面相嵌的右導(dǎo)軌，當(dāng)水平驅(qū)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)整個(gè)機(jī)械手運(yùn)行時(shí)，利用套軌和導(dǎo)向定位塊沿左、右導(dǎo)軌上滑動(dòng)，該結(jié)構(gòu)可以保證機(jī)械手運(yùn)行平穩(wěn)，且剎車靈活，反應(yīng)速度快，使用起來十分方便。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。

圖1是本實(shí)用新型安裝在硅料清洗機(jī)上的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是圖1中A處放大圖。

具體實(shí)施方式

參照?qǐng)D1、圖2，應(yīng)用于硅料清洗機(jī)上的機(jī)械手結(jié)構(gòu)，包括絲桿1，所述絲桿1下端設(shè)有機(jī)械臂11，位于機(jī)械臂11上安裝有吊鉤12，所述絲桿1頂部設(shè)有頂板2，該頂板2頂部設(shè)有水平驅(qū)動(dòng)電機(jī)3和上下驅(qū)動(dòng)電機(jī)4，所述水平驅(qū)動(dòng)電機(jī)3通過齒輪機(jī)構(gòu)5帶動(dòng)整個(gè)機(jī)械手活動(dòng)，所述上下驅(qū)動(dòng)電機(jī)4帶動(dòng)絲桿1使其上的機(jī)械臂11和吊鉤12上下運(yùn)動(dòng)，位于頂板2左、右底部分別設(shè)有套軌6和底面帶弧形槽的導(dǎo)向定位塊7，在硅料清洗機(jī)頂部設(shè)有嵌入套軌6的左導(dǎo)軌8和與導(dǎo)向定位塊7底面相嵌的右導(dǎo)軌9。

使用過程中，當(dāng)水平驅(qū)動(dòng)電機(jī)3帶動(dòng)整個(gè)機(jī)械手運(yùn)行時(shí)，利用套軌6和導(dǎo)向定位塊7沿左、右導(dǎo)軌8、9上滑動(dòng)，該結(jié)構(gòu)可以保證機(jī)械手運(yùn)行平穩(wěn)，且剎車靈活，反應(yīng)速度快，使用起來十分方便。

其中，所述絲桿1外套有密封罩10，通過密封罩10可以保護(hù)絲桿1不被機(jī)體內(nèi)的腐蝕氣體所腐蝕，延長了產(chǎn)品的使用壽命。

本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)合理、運(yùn)行平穩(wěn)、剎車靈活、反應(yīng)快，是一種廣泛應(yīng)用于硅料清洗機(jī)上的機(jī)械手結(jié)構(gòu)。