[實用新型]全自動硅片上下料機無效
| 申請號: | 200920052116.4 | 申請日: | 2009-03-06 |
| 公開(公告)號: | CN201663151U | 公開(公告)日: | 2010-12-01 |
| 發明(設計)人: | 梁明剛 | 申請(專利權)人: | 東莞市啟天自動化設備有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 523000 廣東省東莞*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 全自動 硅片 上下 | ||
技術領域:
本實用新型涉及用于生產電子產品的工藝設備,具體涉及一種全自動硅片上下料機。?
背景技術:
目前,太陽能電池作為可再生的環保能源已經越來越受到人們的關注,世界太陽能電池近幾年的年銷售增長率已經超過40%與其相關的設備也得到了迅猛的發展。目前,在國家倡導節能的宏觀政策的推動下,北京、上海、廣東、江蘇等都在積極開發太陽能電池產品。太陽能電池制造廠家在生產過程中一般都是采用手工將硅片裝入籃具或將籃具中的硅片取出,引起硅片碎片率高,生產效率低,成本高,從而無法滿足市場的需求。?
綜上所述,目前硅片到籃具上料和下料存在一些需要改進的地方。?
實用新型內容:?
本實用新型的目在于,提供一種全自動硅片上下料機,可解決手工將硅片裝入籃具或將籃具中的硅片取出,引起的引起硅片碎片率高,生產效率低,浪費嚴重的技術問題。?
為解決上述技術問題,本實用新型采用了如下的技術方案:提供一種全自動硅片上下料機,包括電動執行器、上料位、緩沖區、上料位升降機構、吸盤操作機構、傳送帶、籃具托盤操作機構、工作臺面、控制面板、籃具上升機構,所述籃具托盤操作機構固定于工作臺面上的左右兩側前方處,籃具托盤操作機構的操作臺與工作臺面下固定固定于籃具上升機構的第一線性模組固定連接,第一線線性模組與第一伺服電機的聯軸器固定連接,實現籃具托盤操作機構上的籃具托盤的升降;所述傳送帶設置于籃具托盤操作機構的正后方,傳送帶一端與籃具托盤對正,實現傳送帶上的硅片送到每一層籃具中,傳送帶另一端的下方位于緩沖區上方;所述吸盤操作機構設置于電動執行器上,吸盤操作機構沿導軌水平左右移動;所述電動執行器設置于傳送帶的上方;所述上料位設置于電動執行器前方及傳送帶的中間位置的工作臺面上,上料位與工作臺面下固定設置的上料位升降機構上的第二線性模組固定連接,上料位升降機構中的第二伺服電機通過操作第二線性模組實現上料位上的硅片的升降;?
還包括可將上料位的硅片分開的分片機構、對每片硅片的方向矯正和定位的定位機構,其中分片機構安裝于工作臺面上位于上料位的兩側,定位機構安裝于工作臺面上位于傳送帶的兩側;在緩沖區設有吹氣孔,且緩沖區下方還安裝有傳感器。?
工作時,上料位升降機構上下垂直運動,帶動上料位上下垂直運動,同時電動執行器左右水平運行,帶動吸盤左右水平運動,實現硅片的吸取,然后電動執行器左右水平運動,將硅片放到傳送帶上,定位機構對硅片進行矯正,同時籃具上升機構帶動籃具托盤操作機構上下垂直運動,傳送帶運行將硅片送入籃具實現上料。籃具上升機構帶動籃具托盤操作機構上下垂直運動,傳送帶運行將硅片送到緩沖區實現下料。?
本實用新型具有結構簡單、易于安裝、方便操作、自動化程度高,可以提高生產效率,降低碎片率,滿足各種硅片工藝對上下料的要求。?
附圖說明:
圖1是本實用新型的結構示意圖;?
圖2是圖1的俯視圖;?
具體實施方式:
見圖1~2所示,本實用新型包括:設備本體26、電動執行器31、上料位17、緩沖區6、上料位升降機構37、吸盤操作機構16、傳送帶11、第一伺服電機、第二伺服電機、籃具托盤12、籃具托盤操作機構23、工作臺面7、控制面板15、籃具上升機構、分片機構、定位機構19、第一線性模組、第二線性模組、籃具、吸盤21。?
上料位升降機構37和籃具上升機構的精密定位運動由第一伺服電機、第二伺服電機完成,其中第一伺服電機、第二伺服電機為高精度、高速、低慣量交流伺服電機。第一伺服電機控制第一線性模組精確移動,同時由編碼器提供反饋信息,形成閉環控制,實現既高速又精確的移動。?
為了把上料位的硅片輕易的分開,分片機構安裝于工作臺面7上位于上料位的兩側,其中分片機構為吹氣分離裝置。潔凈壓縮空氣經過調壓、節流進入一個末端做成扁平的只留一條微小細縫的銅管,并且銅管的細縫是垂直的,這樣從銅管細縫里產生的氣流就是垂直的、有層次的,就能把上料位的硅片有層次的、輕易的吹開,吸盤就能輕易的把最上端的硅片吸走,既提高了設備的工作效率又降低了硅片的碎片率。?
控制面板15,用于設置或修改各種工藝及各項工藝參數,控制面板還具有程序過程控制、故障報警等功能。?
吸盤操作機構16由氣缸和四個小吸盤組成,真空吸附可靠,穩定性好。?
定位機構19采用氣缸運動限位,自動矯正硅片方向,保證硅片安全可靠的上料。?
傳送帶11采用柔軟的遠皮帶,減少與硅片的接觸面積,避免損傷和污染硅片。?
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
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H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





