[發明專利]鍍膜裝置

無效

• 申請號: 200910304772.3
• 申請日: 2009-07-24
• 公開（公告）號: CN101962754A
• 公開（公告）日: 2011-02-02
• 發明（設計）人: 裴紹凱
• 申請（專利權）人: 鴻富錦精密工業（深圳）有限公司;鴻海精密工業股份有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C16/54
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種鍍膜裝置，其用于對一個待鍍膜基板進行鍍膜，所述鍍膜裝置包括一個主腔體，所述待鍍膜基板收容于所述主腔體內，其特征在于，所述鍍膜裝置還包括一個反應裝置，所述反應裝置收容于所述主腔體內并與所述待鍍膜基板相對設置，所述反應裝置包括一個承載板、一個反應部、一個準直管及一個蓋體，所述承載板用于承載一個靶材，所述承載板與所述蓋體分別設置在所述反應部的相對兩端以封閉所述反應部，所述準直管位于所述反應部內且將所述反應部分成一個第一腔體及一個第二腔體，所述靶材位于所述第一腔體內，所述蓋體上開設多個與所述第二腔體相連通的通孔。

2.如權利要求1所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述蓋體的外表面開設一個凹槽，所述凹槽的底部開設所述多個通孔。

3.如權利要求2所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述蓋體還包括多個紫外燈，所述蓋體的外表面圍繞所述凹槽開設多個與所述多個紫外燈相對應的收容通孔，所述紫外燈收容于所述收容通孔內并照射至所述第二腔體內。

4.如權利要求1所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述鍍膜裝置還包括一個擋板組件，所述擋板組件收容在所述第一腔體內且位于所述準直管與所述靶材之間，所述擋板組件包括一個轉軸及一個擋板，所述轉軸設置在所述擋板的側邊并活動設置在所述第一腔體的側壁，所述轉軸轉動來帶動所述擋板一起轉動以密封間隔所述第一腔體與所述第二腔體。

5.如權利要求1所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述準直管的材料為鈦合金。

6.如權利要求1所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述承載板的材料為不銹鋼。