[發(fā)明專利]16000A/200～400V電焊機專用雪崩整流二極管及其制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910303951.5
• 申請日: 2009-07-02
• 公開（公告）號: CN101582455A
• 公開（公告）日: 2009-11-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 夏吉夫;郭永亮;潘福泉;潘峰
• 申請（專利權(quán)）人: 錦州市雙合電器有限公司
• 主分類號: H01L29/861
• 分類號: H01L29/861;H01L29/04;H01L29/06;H01L29/16;H01L21/22;H01L29/45;H01L21/329
• 代理公司: 錦州遼西專利事務所
• 代理人: 李 輝

1.一種16000A/200～400?V電焊機專用雪崩整流二極管，由管殼、芯片構(gòu)成，所述的芯片包括基區(qū)N、擴磷區(qū)N⁺和擴硼區(qū)P⁺以及陰、陽極歐姆接觸，其特征是：所述的芯片采用N型(100)徑向低阻單晶硅片，所述的單晶硅片電阻率ρn為5～10Ω-cm、直徑為70㎜、厚度0.17～0.19㎜，且管子厚度為5～6mm，擴磷區(qū)N⁺和擴硼區(qū)P⁺為雙面一次擴散形成，陰、陽極歐姆接觸為鈦-鎳-金或鈦-鎳-銀。

2.一種16000A/200～400?V電焊機專用雪崩整流二極管的制造方法，其特征是：

采用電阻率ρn為5～10Ω-cm、直徑為70㎜、厚度0.17～0.19㎜的N型(100)徑向低阻單晶硅片；

硅片擴散，在1250℃下進行雙面一次擴散；

擴散片檢測，P⁺區(qū)表面濃度0.04～0.06mV/mA,結(jié)深X_jP為78～82μm；N⁺區(qū)表面濃度0.06～0.08mV/mA,結(jié)深X_jN為58～62μm，基區(qū)殘余少子壽命τp為9～13μS；

擴散片經(jīng)噴砂、清洗、脫水烘干后進行電子束多層金屬化蒸發(fā),實現(xiàn)陰、陽極歐姆接觸為鈦-鎳-金或鈦-鎳-銀；臺面噴砂造型,經(jīng)腐蝕、清洗、聚酰亞胺鈍化保護后,中間測試；?

將中間測試合格芯片,?裝入管殼內(nèi),進行充氮氣下冷壓接封裝,封裝后管子厚度5～6mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的16000A/200～400?V電焊機專用雪崩整流二極管的制造方法，其特征是：在硅片擴散時先將硅片清洗后擺放在硅舟上，在相鄰的單晶硅片之間交替放置N⁺、P⁺紙源片，在硅舟兩端放置硅襯墊，經(jīng)硅舟一端置放的彈簧將單晶硅片和紙源片壓緊后推入擴散爐中；當硅舟溫度至390-410℃時，紙源片燃燒并使硅片被壓得更緊，將硅舟從擴散爐中拉到爐口，小心取下彈簧，將硅舟再次推入擴散爐中恒溫區(qū)在1250℃下進行高溫擴散。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的16000A/200～400?V電焊機專用雪崩整流二極管的制造方法，其特征是：所述的鈦：鎳：金或鈦：鎳：銀厚度分別為?0.2μm:0.5μm:0.1μm。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的16000A/200～400?V電焊機專用雪崩整流二極管的制造方法，其特征是：陰極臺面噴砂造型角度為45～55°。