[發(fā)明專利]用于襯底對準(zhǔn)設(shè)備的視覺系統(tǒng)和用于控制其焦距的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910260633.5
• 申請日: 2009-12-18
• 公開（公告）號: CN101750714A
• 公開（公告）日: 2010-06-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 程成德;金賢泰;文元根
• 申請（專利權(quán)）人: AP系統(tǒng)股份有限公司
• 主分類號: G02B7/28
• 分類號: G02B7/28
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明

1.一種用于控制襯底對準(zhǔn)設(shè)備的視覺系統(tǒng)的焦距的方法，所述襯底對準(zhǔn)設(shè)備使用相機(jī)區(qū)段所拍攝的圖像來對準(zhǔn)襯底，所述用于控制襯底對準(zhǔn)設(shè)備的視覺系統(tǒng)的焦距的方法包括：

通過所述相機(jī)區(qū)段拍攝圖像以用于焦距控制；

得到存儲圖像，所述存儲圖像包括在所述相機(jī)區(qū)段的焦距位置處拍攝的焦距圖像以及具有拍攝位置與所述焦距位置之間的距離長度的信息的移動圖像；

將所述存儲圖像與為所述焦距控制而拍攝的所述圖像進(jìn)行比較，且將對應(yīng)于為所述焦距控制而拍攝的所述圖像的存儲圖像設(shè)置為比較圖像，其中所述對應(yīng)于為所述焦距控制而拍攝的所述圖像的存儲圖像為所述存儲圖像中的一部分；

計算對應(yīng)于所述比較圖像的距離長度的信息；以及

使所述相機(jī)區(qū)段移動所計算的距離長度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于控制襯底對準(zhǔn)設(shè)備的視覺系統(tǒng)的焦距的方法，其特征在于將所述存儲圖像存儲在單獨(dú)的存儲區(qū)段中，且用于存儲所述存儲圖像的方法包括：

通過操作所述相機(jī)區(qū)段來辨識所述焦距位置；

將在所述相機(jī)區(qū)段的所述焦距位置處拍攝的圖像存儲為所述焦距圖像；以及

通過使所述相機(jī)區(qū)段從所述焦距位置上下移動來拍攝圖像，且將所拍攝的圖像及其移動距離存儲為所述移動圖像。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于控制襯底對準(zhǔn)設(shè)備的視覺系統(tǒng)的焦距的方法，其特征在于將所述所拍攝的圖像及其移動距離存儲為所述移動圖像使用通過使所述相機(jī)區(qū)段從所述焦距位置以相等間隔移動來拍攝的圖像，且所述相等間隔在所述相機(jī)區(qū)段的焦距深度的50％到90％的范圍內(nèi)，或具有在所述相機(jī)區(qū)段的整個移動距離的1/100到1/10000的范圍內(nèi)的值。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于控制襯底對準(zhǔn)設(shè)備的視覺系統(tǒng)的焦距?的方法，其特征在于將所述存儲圖像與為所述焦距控制而拍攝的所述圖像進(jìn)行比較且將對應(yīng)于為所述焦距控制而拍攝的所述圖像的所述存儲圖像設(shè)置為所述比較圖像包括：

將構(gòu)造為所述焦距控制而拍攝的所述圖像的像素的灰階數(shù)據(jù)與所述存儲圖像的像素的灰階數(shù)據(jù)進(jìn)行比較；以及

將灰階數(shù)據(jù)恒定保持在與為所述焦距控制而拍攝的所述圖像的所述灰階數(shù)據(jù)的誤差范圍內(nèi)的所述存儲圖像設(shè)置為所述比較圖像。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于控制襯底對準(zhǔn)設(shè)備的視覺系統(tǒng)的焦距的方法，其特征在于通過將圖像劃分為多個部分且比較經(jīng)劃分的部分中的像素的灰階數(shù)據(jù)的平均值或所述圖像的一個部分中的灰階數(shù)據(jù)的平均值來執(zhí)行所述灰階數(shù)據(jù)比較。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于控制襯底對準(zhǔn)設(shè)備的視覺系統(tǒng)的焦距的方法，其特征在于將所述存儲圖像與為所述焦距控制而拍攝的所述圖像進(jìn)行比較且將對應(yīng)于為所述焦距控制而拍攝的所述圖像的所述存儲圖像設(shè)置為所述比較圖像包括：將背景與對準(zhǔn)標(biāo)記之間的邊界界面的斜率、所述對準(zhǔn)標(biāo)記的大小、所述對準(zhǔn)標(biāo)記的分辨率、圖像相似性和為所述焦距控制而拍攝的所述圖像的邊緣分辨率中的一者或一者以上與所述存儲圖像進(jìn)行比較。

7.一種用于襯底對準(zhǔn)設(shè)備的視覺系統(tǒng)，包括：

相機(jī)區(qū)段，用以拍攝圖像；以及

視覺控制區(qū)段，包含用以控制所述相機(jī)區(qū)段的焦距的焦距控制單元和用以顯示所述相機(jī)區(qū)段所拍攝的所述圖像的圖像顯示單元，

其中，所述焦距控制單元包括：

圖像存儲部分，用以存儲存儲圖像，所述存儲圖像包含在所述相機(jī)區(qū)段的焦距位置處拍攝的焦距圖像和通過使所述相機(jī)區(qū)段從所述焦距位置上下移動來拍攝的移動圖像；?

圖像比較部分，用以將所述相機(jī)區(qū)段所拍攝的圖像與所述圖像存儲部分中所存儲的所述存儲圖像進(jìn)行比較；以及

相機(jī)控制部分，根據(jù)所述圖像比較部分的比較結(jié)果來使所述相機(jī)區(qū)段上下移動。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于襯底對準(zhǔn)設(shè)備的視覺系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括：

光源，用以向所述相機(jī)區(qū)段提供光；以及

擴(kuò)散區(qū)段，具有球形或半球形形狀以使從所述光源提供的所述光擴(kuò)散。?