[發(fā)明專利]顯示基板及其制造方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910258383.1
• 申請日: 2009-12-14
• 公開（公告）號: CN101750822A
• 公開（公告）日: 2010-06-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 金度賢;鄭鐘鉉;崔永柱;樸弘植;印泰炯;李東勛;尹弼相;樸帝亨;鄭敞午;李制勛;洪瑄英;金俸均;李炳珍;徐南錫
• 申請（專利權(quán)）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: G02F1/1362
• 分類號: G02F1/1362;H01L23/528;H01L21/768
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 張波

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種顯示基板及該顯示基板的制造方法。更具體地，本發(fā)明的示范性實施例涉及能夠防止由于臺階差(step?difference)引起的缺陷的顯示基板以及該顯示基板的制造方法。

背景技術(shù)

液晶顯示(“LCD”)裝置通過向插設(shè)在兩個基板之間的液晶層施加電壓來控制通過液晶層的透光率從而顯示圖像。這里，為了施加電壓，LCD裝置通常包括形成在顯示基板上的電極和施加數(shù)據(jù)電壓到該電極的開關(guān)元件(例如，薄膜晶體管(“TFT”))。

隨著顯示技術(shù)的發(fā)展，期望LCD裝置具有增加的顯示面積、更高的分辨率和更快的響應(yīng)速度。實現(xiàn)對LCD裝置的期望主要取決于LCD裝置的制造工藝的增進(jìn)而且也取決于對用于形成LCD裝置的信號線的合適的金屬材料的選擇。

也就是，隨著LCD裝置發(fā)展為具有大尺寸和高分辨率，金屬信號線的阻抗由于金屬信號線寬度的減小和開口率的增大而增加。因此，期望開發(fā)具有低電阻率的金屬信號線的工藝以實現(xiàn)高分辨率和大尺度的LCD裝置。

為了確保低阻抗，可在底基板(base?substrate)上沉積具有比傳統(tǒng)信號線厚度更厚的信號線。然而，當(dāng)在底基板上沉積具有較厚厚度的低阻抗線材料時，底基板會彎曲，例如，在信號線沉積到底基板上之后隨著它們被冷卻，底基板會被信號線施加到其上的拉應(yīng)力(tensile?stress)變成弓狀。

因此，顯示基板的制造工藝會被過分限制，且在顯示基板上會產(chǎn)生缺陷。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的示范性實施例提供在其制造工藝期間能夠防止彎曲的顯示基板。

本發(fā)明的示范性實施例也提供上述顯示基板的制造方法。

本發(fā)明的示范性實施例而且還提供能夠防止缺陷的上述顯示基板的制造方法，該缺陷由于后續(xù)圖案化工藝期間的臺階差(stepped?difference)而產(chǎn)生，執(zhí)行該后續(xù)圖案化工藝以形成顯示基板的柵極線。

根據(jù)本發(fā)明的一個示范性實施例，顯示基板包括：底基板；設(shè)置在底基板的下表面上的形變防止層，其中形變防止層向底基板施加防止底基板彎曲的力；設(shè)置在底基板的上表面上的柵極線；以及設(shè)置在底基板上的像素電極。

在本發(fā)明的一個示范性實施例中，每個形變防止層和柵極線都可具有施加到其上的拉應(yīng)力。在一個示范性實施例中，柵極線可包括選自由鋁(Al)、銅(Cu)、銀(Ag)、鋁(Al)合金、銅(Cu)合金、銀(Ag)合金和其組合組成的組的至少之一。在一個示范性實施例中，形變防止層可包括有機絕緣層或無機絕緣層的至少之一。在一個示范性實施例中，形變防止層可包括選自由氮化硅(SiN_x)、氧化硅(SiO₂)及其組合組成的組的至少之一。

根據(jù)本發(fā)明的另一個示范性實施例，顯示基板包括：底基板；設(shè)置在底基板的上表面上的形變防止層，其中形變防止層向底基板施加防止底基板彎曲的力；設(shè)置在形變防止層上的柵極線；設(shè)置在形變防止層上的數(shù)據(jù)線；以及設(shè)置在底基板上的像素電極。

在本發(fā)明的示范性實施例中，柵極線可包括具有施加到其上的拉應(yīng)力的金屬材料。在一個示范性實施例中，形變防止層可包括具有施加到其上的壓應(yīng)力(compression?stress)的材料。在一個示范性實施例中，形變防止層可包括無機層。在一個示范性實施例中，形變防止層可包括選自由氮化硅(SiN_x)、氮化鈦(TiN_x)、氮化鉬(MoN_x)、氧化硅(SiO₂)、氧化銅(CuO_x)、氮化銅(CuN_x)、氧化銦錫(“ITO”)、氧化銦鋅(“IZO”)及其組合組成的組的至少之一。供選示范性實施例包括形變防止層可包括有機層的構(gòu)造。

根據(jù)本發(fā)明的另一個示范性實施例，制造顯示基板的方法包括：在底基板的下表面上設(shè)置形變防止層，其中形變防止層向底基板施加防止底基板彎曲的力；在底基板的上表面上設(shè)置柵極金屬層；圖案化柵極金屬層以形成柵極線；在底基板上設(shè)置與柵極線交叉的數(shù)據(jù)線；以及在底基板上設(shè)置像素電極。

在本發(fā)明的示范性實施例中，每個形變防止層和柵極線可具有施加到其上的拉應(yīng)力(tensile?stress)。在一個示范性實施例中，形變防止層可包括選自由鋁(Al)、銅(Cu)、銀(Ag)、鋁(Al)合金、銅(Cu)合金、銀(Ag)合金及其組合組成的組的至少之一。