[發明專利]有機發光二極管顯示器的制造方法有效
| 申請號: | 200910253550.3 | 申請日: | 2009-12-08 |
| 公開(公告)號: | CN101887867A | 公開(公告)日: | 2010-11-17 |
| 發明(設計)人: | 金祐贊;安炳喆;韓敞旭 | 申請(專利權)人: | 樂金顯示有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/82 | 分類號: | H01L21/82;H01L27/32;H01L51/56 |
| 代理公司: | 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金國;趙靜 |
| 地址: | 韓國*** | 國省代碼: | 韓國;KR |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 有機 發光二極管 顯示器 制造 方法 | ||
1.一種有機發光二極管顯示裝置的制造方法,所述有機發光二極管顯示裝置包括多個OLED,每個OLED都具有第一電極、第一相關層、光發射層、第二相關層和第二電極,所述方法包括:
在受主基板上順次形成薄膜晶體管(TFT)陣列、所述第一電極、堤圖案和所述第一相關層;
在施主基板上順次形成金屬圖案和有機光發射材料層;
通過給所述金屬圖案施加電將所述有機光發射材料層轉移到所述受主基板上而形成所述光發射層;以及
在形成有所述光發射層的所述受主基板上順次形成所述第二相關層和所述第二電極。
2.根據權利要求1所述的方法,其中所述金屬圖案由Ag、Au、Al、Cu、Mo、Pt、Ti、W和Ta其中之一形成或者由其中兩種或更多種的合金形成,并根據所述受主基板的將要形成所述光發射層的像素位置被構圖。
3.根據權利要求2所述的方法,其中所述金屬圖案的寬度小于或等于像素寬度與堤圖案寬度之和。
4.根據權利要求1所述的方法,其中形成所述光發射層是在真空或惰性氣體環境下進行的。
5.根據權利要求1所述的方法,其中所述電在0.1μs到1s的范圍內以0.1W/cm2~10000W/cm2的功率密度被施加一次或幾次。
6.根據權利要求1所述的方法,進一步包括:
在形成所述有機光發射材料層之前,在所述金屬圖案上形成電絕緣層。
7.根據權利要求6所述的方法,其中所述電絕緣層包括二氧化硅膜、氮化硅膜、氮氧化硅膜、和旋涂玻璃(SOG)材料至少之一。
8.根據權利要求1所述的方法,其中所述第一電極和所述第二電極分別是陽極電極和陰極電極,所述第一相關層是進行空穴的引入和運載的空穴相關層,并且所述第二相關層是進行電子的引入和運載的電子相關層。
9.根據權利要求1所述的方法,其中所述第一電極和所述第二電極分別是陰極電極和陽極電極,所述第一相關層是進行電子的引入和運載的電子相關層,并且所述第二相關層是進行空穴的引入和運載的空穴相關層。
10.根據權利要求1所述的方法,其中形成所述光發射層包括分別進行以下工序:
對所有R像素,一次地,對準并貼合所述受主基板和所述施主基板、將紅色有機光發射材料層轉移到所述受主基板上、分離和卸載所述施主基板;
對所有G像素,一次地,對準并貼合所述受主基板和所述施主基板、將綠色有機光發射材料層轉移到所述受主基板上、分離和卸載所述施主基板;以及
對所有B像素,一次地,對準并貼合所述受主基板和所述施主基板、將藍色有機光發射材料層轉移到所述受主基板上、分離和卸載所述施主基板。
11.根據權利要求1所述的方法,其中形成所述光發射層包括:
對所有像素,一次地,對準并貼合所述受主基板和所述施主基板、將所述有機光發射材料層轉移到所述受主基板上、分離和卸載所述施主基板。
12.一種有機發光二極管顯示裝置的制造方法,所述有機發光二極管顯示裝置包括多個OLED,每個OLED都具有第一電極、第一相關層、光發射層、第二相關層和第二電極,所述方法包括:
在受主基板上順次形成薄膜晶體管(TFT)陣列、所述第一電極、堤圖案、襯墊料和所述第一相關層;
在施主基板上順次形成金屬圖案和有機光發射材料層;
通過給所述金屬圖案施加電將所述有機光發射材料層轉移到所述受主基板上而形成所述光發射層;以及
在形成有所述光發射層的所述受主基板上順次形成所述第二相關層和所述第二電極,
其中所述襯墊料形成為比所述堤圖案窄。
13.根據權利要求12所述的方法,其中所述襯墊料形成在所述堤圖案上方。
14.根據權利要求12所述的方法,其中所述金屬圖案由Ag、Au、Al、Cu、Mo、Pt、Ti、W和Ta其中之一形成或者由其中兩種或更多種的合金形成,并根據所述受主基板的將要形成所述光發射層的像素位置被構圖。
15.根據權利要求14所述的方法,其中所述金屬圖案的寬度小于或等于像素寬度與堤圖案寬度之和。
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