[發明專利]掩模版掃描裝置

有效

• 申請號: 200910252942.8
• 申請日: 2009-12-04
• 公開（公告）號: CN102087478A
• 公開（公告）日: 2011-06-08
• 發明（設計）人: 丁偉堯
• 申請（專利權）人: 無錫華潤上華半導體有限公司;無錫華潤上華科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李麗

技術領域

本發明涉及半導體制造領域，特別涉及一種應用于光刻機的掩模版掃描裝置。

背景技術

光刻工藝是集成電路制造工藝中不可或缺的重要技術。光刻工藝通常是在光刻機中進行的，具體可包括如下步驟：先將具有電路設計圖形的掩膜版定位在光刻機的掩模臺上；再將待曝光的晶圓定位在光刻機的晶圓臺上；處理時，先在晶圓表面涂布光阻等感光材料，在感光材料干燥后，通過將所述掩膜版上的電路設計圖形以特定光源曝在所述感光材料上，再以顯影劑將感光材料顯影，并利用顯影出來的圖形作為屏蔽，進行蝕刻等工藝，并最終完成掩模圖形的轉移。

在上述各步驟中，在將具有電路設計圖形的掩膜版定位在光刻機的掩模臺上之前，需預先對掩膜版進行檢驗，以確定其是否為該待曝光的晶圓相對應。對掩膜版的驗證，可以通過掃描裝置(例如激光掃描器)掃描用于唯一性標識掩膜版的條形碼來實現，具體來講，在光刻機中設置有掃描裝置以及控制所述掃描裝置移動的驅動機構。

以應用較廣的Nikon光刻機為例，其配置的驅動機構為氣動驅動結構和馬達驅動結構相結合，其中氣動驅動結構包括電磁閥以及受所述電磁閥控制的氣缸，適用于控制所述掃描裝置進行長距離的移動；而馬達驅動結構包括馬達以及傳動軸，適用于控制所述掃描裝置進行短距離的移動。

但，現有技術中掩模版掃描裝置存在著如下缺點：

1、由于掃描裝置的移動由氣缸帶動，氣缸由電磁閥控制壓空來驅動，如果壓空有突變，會對掃描裝置的運動產生影響。例如若壓空過大，會使掃描裝置移至讀取位置時猛烈撞擊擋板，這樣會產生大量顆粒掉落在掩膜版上，從而造成掩膜版的沾污；而若壓空過小，又無法驅動所述掃描裝置移動到目的位置。

2、氣動驅動結構運作不穩定且壽命較短，需要經常維修。

發明內容

本發明的目的在于提供一種掩模版掃描裝置，以解決掃描探頭控制不便、移動不穩的問題。

為解決上述問題，本發明提供一種光刻機的掩模版掃描裝置，包括：

掃描器，其包括具有第一、第二末端的支架以及設于所述支架的第一末端用于產生掃描光源的掃描探頭；

驅動裝置，包括提供驅動力的電動馬達以及受所述電動馬達控制且與所述掃描器的支架的第二末端相連接的傳動件；

光電傳感器，設于對應所述掃描器的掃描探頭的初始位置和目標位置的區域，適于獲取所述掃描器的掃描探頭的位置信息；

控制單元，與所述驅動裝置和光電傳感器電性連接，適于根據所述光電傳感器所傳送的位置信息控制所述驅動裝置中的電動馬達運作。

可選地，所述傳動件為絲桿；所述支架的第二末端設有連接部，所述連接部具有與所述絲桿螺接的內螺紋。

可選地，所述支架呈L型。

可選地，所述電動馬達為直流驅動的步進馬達。

可選地，所述掩模版掃描裝置還包括接觸式傳感器，對應于所述傳動件的相對二端，用于界定所述掃描器的可移動范圍。

與現有技術相比，本技術方案是提供一種應用于光刻機的掩模版掃描裝置，主要通過采用馬達驅動方式，能控制所述掃描器平穩且自如地移動。

附圖說明

圖1示出本發明提供的掩模版掃描裝置在第一實施例中的結構示意圖；

圖2示出本發明提供的掩模版掃描裝置在第二實施例中的結構示意圖。

具體實施方式

本發明的發明人發現在現有的掩模版掃描裝置中，采用氣動驅動方式驅動掃描裝置移動，由于壓空穩定性較差，不易控制，易出現掃描器定位不準或引起掃描器與其他部件產生撞擊使得掩膜版受到顆粒玷污等問題。

本發明的發明人創造性地對現有掩模版掃描裝置進行改進，提供一種新的掩模版掃描裝置，包括：掃描器，包括支架以及設于所述支架的掃描探頭；驅動裝置，包括電動馬達以及傳動件；光電傳感器，適于獲取所述掃描器的掃描探頭的位置信息；控制單元，與所述驅動裝置和光電傳感器電性連接，適于根據所述光電傳感器所傳送的位置信息控制所述驅動裝置中的電動馬達運作。本發明通過馬達驅動方式，能控制所述掃描器平穩且自如地移動。

下面結合附圖對本發明的內容進行詳細說明。

第一實施例：

圖1示出本發明提供的掩模版掃描裝置在第一實施例中的結構示意圖。在本實施例中，所述掩模版掃描裝置是應用于光刻機中，用于讀取掩膜版的信息以對其進行驗證。

如圖1所示，掩模版掃描裝置包括掃描器10，用于向掃描器10提供動力的驅動裝置12，用于監測所述掃描器10的位置的光電傳感器13、15，以及與驅動裝置12和光電傳感器13、15電性連接的控制單元(未在圖式中予以顯示)。