[發明專利]掩模版掃描裝置有效
| 申請號： | 200910252942.8 | 申請日： | 2009-12-04 |
| 公開（公告）號： | CN102087478A | 公開（公告）日： | 2011-06-08 |
| 發明（設計）人： | 丁偉堯 | 申請（專利權）人： | 無錫華潤上華半導體有限公司;無錫華潤上華科技有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 李麗 |
| 地址： | 214028 江蘇省無*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 模版 掃描 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種掩模版掃描裝置，其特征在于，包括：
掃描器，其包括具有第一、第二末端的支架以及設于所述支架的第一末端用于產生掃描光源的掃描探頭；
驅動裝置，包括提供驅動力的電動馬達以及受所述電動馬達控制且與所述掃描器的支架的第二末端相連接的傳動件；
光電傳感器，設于對應所述掃描器的掃描探頭的初始位置和目標位置的區域，適于獲取所述掃描器的掃描探頭的位置信息；
控制單元，與所述驅動裝置和光電傳感器電性連接，適于根據所述光電傳感器所傳送的位置信息控制所述驅動裝置中的電動馬達運作。
2.根據權利要求1所述的掩模版掃描裝置，其特征在于，所述傳動件為絲桿；所述支架的第二末端設有連接部，所述連接部具有與所述絲桿螺接的內螺紋。
3.根據權利要求1所述的掩模版掃描裝置，其特征在于，所述支架呈L型。
4.根據權利要求1所述的掩模版掃描裝置，其特征在于，所述電動馬達為直流驅動的步進馬達。
5.根據權利要求1所述的掩模版掃描裝置，其特征在于，還包括接觸式傳感器，對應于所述傳動件的相對二端，用于界定所述掃描器的可移動范圍。
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