[發明專利]真空腔定位機構

在審

• 申請號: 200910246916.4
• 申請日: 2009-12-01
• 公開（公告）號: CN101814452A
• 公開（公告）日: 2010-08-25
• 發明（設計）人: 楊明生;劉惠森;范繼良;葉宗鋒;郭遠倫;王曼媛;王勇
• 申請（專利權）人: 東莞宏威數碼機械有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

1.一種真空腔定位機構，適用于對提供真空環境的真空腔體進行密封的腔蓋進行 定位及支撐，其特征在于：所述真空腔定位機構包括支架、支臂、鉸鏈軸及定 位桿，所述支架的起始端與所述真空腔體固定連接，所述支臂的起始端與所述 腔蓋固定連接，所述支架的末端與所述支臂的末端相互重疊且均開設有相互對 應的容置孔，所述鉸鏈軸樞接地穿過所述容置孔使所述支架與所述支臂樞接， 所述支臂的末端及所述支架的末端以所述容置孔的中心為圓心等徑地開設有定 位孔，轉動所述支臂時，所述支臂圍繞所述容置孔中心轉動，所述支臂的定位 孔與所述支架的定位孔重合，所述定位桿可插拔的插入所述支臂的末端及所述 支架的末端的定位孔內實現支臂與支架的固定。

2.如權利要求1所述的真空腔定位機構，其特征在于：所述支架上開設有與所述 定位桿數量相等的暫存孔，所述暫存孔容置所述定位桿。

3.如權利要求1所述的真空腔定位機構，其特征在于：所述支架的末端還固定連 接有支架加強塊，所述支臂的末端還固定連接有支臂加強塊，所述支架加強塊 及所述支臂加強塊相互重疊，所述容置孔及定位孔開設于所述支架加強塊及所 述支臂加強塊上。