[發明專利]一種制備Er2O3涂層的方法有效
| 申請號： | 200910243034.2 | 申請日： | 2009-12-22 |
| 公開（公告）號： | CN101724819A | 公開（公告）日： | 2010-06-09 |
| 發明（設計）人： | 屈飛;李弢;王磊;蔣文文 | 申請（專利權）人： | 北京有色金屬研究總院 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246 | 代理人： | 童曉琳 |
| 地址： | 100088*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 制備 er sub 涂層 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種制備Er2O3涂層的方法，其特征在于，以純金屬Er靶為靶材，采用反應濺射法制備Er2O3涂層，包括以下步驟：
(1)將石英基底先放入酒精中進行超聲波清洗，除去表面的水分，然后放入丙酮中進行超聲波清洗，除去表面的油污，最后用電吹風吹干；然后將石英基底放置在加熱器上，安裝靶材，調節靶基距為30～50mm；
(2)抽真空至真空度不大于3.0×10-3pa，打開加熱器電源，將基底加熱至700～800℃；
(3)通入氬氣和水蒸氣，將氣壓調至0.1～0.8Pa，其中水分壓為0.04～0.08Pa，開濺射，將濺射功率增加至80～100W，輝光穩定后，移開擋板，開始沉積；
(4)沉積20～40分鐘后，關擋板，關濺射，斷開氬氣和水蒸氣，切斷加熱電源，關真空系統，得Er2O3涂層。
2.根據權利要求1所述的一種制備Er2O3涂層的方法，其特征在于，所述純金屬Er靶純度為99.9％。
3.根據權利要求1所述的一種制備Er2O3涂層的方法，其特征在于，所述水蒸氣由真空蓄水罐提供，真空蓄水罐保持恒溫，以保持水蒸氣蒸發量的恒定。
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