[發(fā)明專利]一種檢測三氯氫硅純度的方法及裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910242233.1
• 申請日: 2009-12-04
• 公開（公告）號: CN101706473A
• 公開（公告）日: 2010-05-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馮泉林;何自強(qiáng);閆志瑞;庫黎明;索思卓;葛鐘;常青
• 申請（專利權(quán)）人: 北京有色金屬研究總院;有研半導(dǎo)體材料股份有限公司
• 主分類號: G01N27/64
• 分類號: G01N27/64
• 代理公司: 北京北新智誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11100
• 代理人: 郭佩蘭

1.一種檢測三氯氫硅純度的方法，其特征在于：它包括以下幾個(gè)步驟：

(1)、將TCS儲液罐中的TCS通過壓力差壓入緩沖罐，再從緩沖罐通過 壓力差壓入反應(yīng)罐；

(2)、TCS在反應(yīng)罐中與預(yù)先加入的水反應(yīng)，使TCS與水反應(yīng)生成硅化物和 鹽酸，同時(shí)TCS含有的金屬雜質(zhì)與氯離子反應(yīng)生成金屬氯化物；

(3)、提取反應(yīng)罐內(nèi)的生成物后，用設(shè)備電感耦合等離子質(zhì)譜進(jìn)行分析，得 到氯和金屬的量，由氯換算成TCS的量，并計(jì)算出三氯氫硅的純度。

2.一種用于權(quán)利要求1檢測三氯氫硅純度的方法的裝置，其特征在于：它 包括以下幾個(gè)部分：緩沖罐、反應(yīng)罐以及密封罐，其連接方式為：

通入緩沖罐的管路共有三條，一條管路2串接一閥門V5后和TCS儲液灌的 液相接口連接，一條管路5串接一閥門V8后和反應(yīng)罐連接，另外的一條管路4 和文氏管的抽氣口連接，該管路與文氏管的抽氣口之間串接三個(gè)閥門V7、V6、 V14和兩個(gè)三通，其中一個(gè)三通通過管路3和TCS儲液罐氣相接口連接，另一 個(gè)三通通過管路6和閥門V9和密封罐連接；通入反應(yīng)罐的管路共有兩條，一條 管路5串接一閥門V8后和緩沖罐連接，另一條管路7串接一閥門V10后和密封 罐連接，反應(yīng)罐外側(cè)為冰浴裝置以保持反應(yīng)罐恒溫，反應(yīng)罐置于磁力攪拌器上； 通入密封罐的管路共有兩條，一條管路7串接一閥門V10后和反應(yīng)罐連接，另一 條管路6串接一閥門V9后通過三通和緩沖罐連接；

在反應(yīng)罐、密封罐中充入一定量的純水，反應(yīng)罐內(nèi)純水的量不能淹沒管路5 和管路7的端口，密封罐內(nèi)的純水量不能淹沒管路6的端口，但管路7通到密封 罐底部。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于權(quán)利要求1檢測三氯氫硅純度的方法的裝置， 其特征在于：所述的緩沖罐的底部有一作為收集TCS的凹坑。