[發明專利]噴膠裝置及噴膠方法無效
| 申請號： | 200910231696.8 | 申請日： | 2009-12-09 |
| 公開（公告）號： | CN102096324A | 公開（公告）日： | 2011-06-15 |
| 發明（設計）人： | 李長江 | 申請（專利權）人： | 無錫華潤上華半導體有限公司;無錫華潤上華科技有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/16 | 分類號： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 214061 江蘇省無*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 裝置 方法 | ||
1.一種噴膠裝置，包括：
第一噴膠泵，用于為所述噴膠裝置吸入供噴出的膠液；
第二噴膠泵，用于噴出經所述第一噴膠泵吸入的膠液；
過濾器，用于過濾經所述第一噴膠泵流向所述第二噴膠泵的膠液。
2.如權利要求1所述的噴膠裝置，其特征在于：所述噴膠裝置包括與所述過濾器相連接的排氣閥及排氣管，所述排氣管用于將所述過濾器的氣泡排出，所述排氣閥用于控制所述排氣管的通斷狀態。
3.如權利要求2所述的噴膠裝置，包括：
氣泡傳感器，連接于所述排氣管，用于監測所述排氣管中存有氣泡，并據以生成對應的感應信號；
控制單元，用于根據所述感應信號產生對應的控制信號，以控制所述排氣閥的開關，以排出所述排氣管中的氣泡。
4.如權利要求3所述的噴膠裝置，其特征在于：所述控制單元包括電磁閥，用于控制所述排氣閥的開關。
5.如權利要求1所述的噴膠裝置，包括：
氣泡傳感器，連接于所述第二噴膠泵的出口，用于監測所述第二噴膠泵所噴出的膠液中是否存有氣泡，并據以生成對應的感應信號；
控制單元，用于根據所述感應信號產生對應的控制信號，以控制所述第二噴膠泵的開閉。
6.如權利要求1所述的噴膠裝置，其特征在于：所述噴膠裝置包括控制單元，用于控制所述第一噴膠泵、所述第二噴膠泵的開閉。
7.一種噴膠方法，包括：
以第一裝置吸入膠液；
以所述第一裝置噴出所述膠液；
以第二裝置過濾所述經所述第一裝置噴出的膠液；
以第三裝置噴出所述經所述第二裝置過濾的膠液。
8.如權利要求7所述的噴膠方法，包括：
監視所述過濾過程中是否出現氣泡；
根據所述監視結果控制排泡操作。
9.如權利要求7所述的噴膠方法，包括：
監視所述第三裝置噴出的膠液；
根據所述監視結果控制所述第三裝置是否噴出所述膠液。
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