[發(fā)明專利]噴膠裝置及噴膠方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910231696.8
• 申請(qǐng)日: 2009-12-09
• 公開（公告）號(hào): CN102096324A
• 公開（公告）日: 2011-06-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李長(zhǎng)江
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無(wú)錫華潤(rùn)上華半導(dǎo)體有限公司;無(wú)錫華潤(rùn)上華科技有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/16
• 分類號(hào): G03F7/16
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

【技術(shù)領(lǐng)域】

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備及方法，特別涉及一種在半導(dǎo)體制造工藝中用于噴涂光刻膠的噴膠裝置及方法。

【背景技術(shù)】

光刻是半導(dǎo)體制造工藝中的重要工藝方法之一。通常地，光刻工藝包括如下步驟：在半導(dǎo)體晶圓片上形成光刻膠層；選擇性曝光光刻膠層并顯影，以形成具有圖案的光刻膠(稱為光刻膠層的圖案化)；以圖案化后的光刻膠層為掩膜，對(duì)半導(dǎo)體晶圓片進(jìn)行蝕刻；灰化光刻膠層并將其去除。

實(shí)際制造過(guò)程中，可以通過(guò)噴涂或旋涂的方式形成上述光刻膠層。噴涂工藝的流程是：噴涂裝置噴出光刻膠，以將光刻膠涂布于旋轉(zhuǎn)的晶圓上，從而在晶圓表面形成光刻膠層。如圖1所示，一種噴涂裝置包括噴膠泵101和過(guò)濾器102，噴膠泵101的出口和過(guò)濾器102之間通過(guò)管路連接。在噴膠過(guò)程中，噴膠泵101將內(nèi)部裝載的膠液從出口排出，通過(guò)管路進(jìn)入過(guò)濾器102。膠液經(jīng)過(guò)濾器102過(guò)濾后排出。過(guò)濾器102中細(xì)密的過(guò)濾結(jié)構(gòu)可選擇性地通過(guò)膠液而濾出膠液中的微粒等雜質(zhì)，避免了噴出的膠液中含有雜質(zhì)而影響所形成的光刻膠層的質(zhì)量。然而，過(guò)濾器102在濾除雜質(zhì)的同時(shí)，會(huì)對(duì)流過(guò)的膠液產(chǎn)生一定的阻力，使得膠液的噴出速率不穩(wěn)定，噴出的膠量波動(dòng)較大，導(dǎo)致形成的光刻膠層厚度不均勻，影響其后的光刻膠圖形化以及刻蝕過(guò)程。

申請(qǐng)?zhí)枮?00510113645.7的中國(guó)專利申請(qǐng)中公開了一種光刻膠的分配設(shè)備和方法，其通過(guò)過(guò)濾器將噴膠泵噴出的膠液中的雜質(zhì)和氣泡濾除。然而，該方案沒(méi)有涉及噴膠速率不穩(wěn)定及膠量波動(dòng)的問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

有鑒于此，有必要提供一種噴膠裝置，以改善噴膠速率的均勻性。

此外，還有必要提供一種可改善噴膠速率的均勻性的噴膠方法。

一種噴膠裝置，包括：

第一噴膠泵，用于為所述噴膠裝置吸入供噴出的膠液；

第二噴膠泵，用于噴出經(jīng)所述第一噴膠泵吸入的膠液；

過(guò)濾器，用于過(guò)濾經(jīng)所述第一噴膠泵流向所述第二噴膠泵的膠液。

一種噴膠方法，包括：

以第一裝置吸入膠液；

以所述第一裝置噴出所述膠液；

以第二裝置過(guò)濾所述經(jīng)所述第一裝置噴出的膠液；

以第三裝置噴出所述經(jīng)所述第二裝置過(guò)濾的膠液。

上述噴膠裝置及噴膠方法以不同的裝置進(jìn)行膠液的吸入與噴出，由于噴出裝置的排出過(guò)程不受過(guò)濾過(guò)程所產(chǎn)生的阻力的影響，因此改善了噴膠速率的均勻性。

【附圖說(shuō)明】

圖1是一種噴膠裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明噴膠裝置的一種實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明噴膠方法的一種實(shí)施方式的流程圖。

【具體實(shí)施方式】

如圖2所示，本發(fā)明一種實(shí)施方式的噴膠裝置包括：第一噴膠泵201，第二噴膠泵202及過(guò)濾器203。第一噴膠泵201的出口通過(guò)管路與過(guò)濾器203的入口相連接，過(guò)濾器203的出口通過(guò)管路與第二噴膠泵202的入口相連接。第一噴膠泵201、第二噴膠泵202可以是馬達(dá)驅(qū)動(dòng)式活塞泵或氣缸驅(qū)動(dòng)式活塞泵，在本實(shí)施方式中，優(yōu)選為氣缸驅(qū)動(dòng)式活塞泵。氣缸驅(qū)動(dòng)式活塞泵通過(guò)使用氣缸來(lái)推動(dòng)或者拉回活塞，完成膠液的排出與吸入過(guò)程，其相較于馬達(dá)驅(qū)動(dòng)式活塞泵而言具有較低的成本。

該實(shí)施方式的噴膠裝置包括排氣管204、排氣閥205、第一氣泡傳感器206、第二氣泡傳感器207及控制單元200等。

排氣管204連接過(guò)濾器203，用于將過(guò)濾器中的氣泡排出。排氣閥205與排氣管204相連，并控制排氣管204的開閉。第一氣泡傳感器206連接在排氣管204上，用于監(jiān)測(cè)所述排氣管204中是否有氣泡。第二氣泡傳感器207與第二噴膠泵202的出口處相連接，用于監(jiān)測(cè)第二噴膠泵202噴出的膠液中是否出現(xiàn)氣泡。

控制單元200包括電磁閥2001及控制器2002。電磁閥2001連接第一噴膠泵201、第二噴膠泵202及排氣閥205，用于控制第一噴膠泵201、第二噴膠泵202的工作狀態(tài)，包括其處于排出或者吸入狀態(tài)。電磁閥2001還用于控制排氣閥205的開關(guān)?？刂破?002與第一氣泡傳感器206、第二氣泡傳感器207及電磁閥2001連接，用于接收第一氣泡傳感器206、第二氣泡傳感器207輸出的感應(yīng)信號(hào)，并經(jīng)控制計(jì)算后輸出控制信號(hào)至電磁閥2001，從而根據(jù)第一、第二氣泡傳感器206、207的感應(yīng)狀態(tài)控制電磁閥2001的通斷狀態(tài)，進(jìn)而控制第一噴膠泵201、第二噴膠泵202的工作狀態(tài)。