[發(fā)明專利]銅銦鎵硒薄膜太陽(yáng)電池光吸收層的硒化方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910229193.7
• 申請(qǐng)日: 2009-12-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102097522A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-06-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙彥民;劉興江;方小紅;王慶華;馮金暉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十八研究所
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18
• 代理公司: 天津盛理知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 12209
• 代理人: 王來(lái)佳

1.銅銦鎵硒薄膜太陽(yáng)電池光吸收層的硒化方法，其特征在于：包括以下過(guò)程：

(1)裝片：將退火后的基片放在能夠與機(jī)械磁力拉桿相吸的基片支架上，反應(yīng)物裝入石英舟；自上至下將基片加熱器、基片支架、套在導(dǎo)向桶中的石英舟和石英舟加熱爐放置在一個(gè)反應(yīng)腔體中，導(dǎo)向桶外周均布有加熱帶；用抽真空系統(tǒng)對(duì)反應(yīng)腔體、通過(guò)閥門與反應(yīng)腔體相通的轉(zhuǎn)換腔體和石英舟抽真空，真空度均為6×10^-3Pa以下；

(2)升溫：由PID溫度控制器控制溫度，石英舟加熱爐溫度升至200℃以上、加熱帶溫度升至250℃以上時(shí)，打開(kāi)基片加熱器升溫至500℃以上；石英舟中的反應(yīng)物正對(duì)著基片，基片和反應(yīng)物進(jìn)行硒化反應(yīng)，保持15min以上；

(3)降溫：硒化反應(yīng)完成后，基片加熱器保持500℃以上，石英舟加熱爐和加熱帶溫度通過(guò)反應(yīng)腔體壁中的循環(huán)水快速降溫至200℃以下，用機(jī)械磁力拉桿吸住基片支架，快速拉至與反應(yīng)腔體相通的溫度為室溫的轉(zhuǎn)換腔體中，待基片溫度降至室溫，基片即為銅銦鎵硒薄膜太陽(yáng)電池光吸收層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的銅銦鎵硒薄膜太陽(yáng)電池光吸收層的硒化方法，其特征在于：所述(1)中反應(yīng)物為硒或硫，或硒和硫的混合物。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的銅銦鎵硒薄膜太陽(yáng)電池光吸收層的硒化方法，其特征在于：所述(1)中基片加熱器為紅外鹵鎢燈。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的銅銦鎵硒薄膜太陽(yáng)電池光吸收層的硒化方法，其特征在于：所述(1)中石英舟加熱爐為阻性材料。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的銅銦鎵硒薄膜太陽(yáng)電池光吸收層的硒化方法，其特征在于：所述(1)中導(dǎo)向桶為不銹鋼圓柱筒，圓柱體外周布有阻性材料。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的銅銦鎵硒薄膜太陽(yáng)電池光吸收層的硒化方法，其特征在于：所述(1)中抽真空系統(tǒng)為機(jī)械泵或小型渦輪分子泵。