[發明專利]化學機械拋光心軸傳動裝置

無效

• 申請號: 200910227956.4
• 申請日: 2009-12-08
• 公開（公告）號: CN101708593A
• 公開（公告）日: 2010-05-19
• 發明（設計）人: 陳威;柳濱;廖垂鑫
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十五研究所
• 主分類號: B24B47/12
• 分類號: B24B47/12;H01L21/302
• 代理公司: 石家莊新世紀專利商標事務所有限公司 13100
• 代理人: 張貳群

1.一種化學機械拋光心軸傳動裝置，包括心軸自轉機構，其特征在于 具有心軸升降機構和心軸公轉機構，結構為：心軸(20)的座套(25)和轉 動架(9、12)間設有四連桿機構(16)，四連桿機構(16)的上下相對的兩 桿件間裝有可控制四連桿機構開合的伸縮機構，所述的轉動架(9、12)固 定在公轉軸(11)上；所述的伸縮機構為氣囊機構(18)；所述的四連桿機 構(16)的豎板(16)上固定有固定板(23)，壓簧(24)和氣囊機構(18) 分別固定在固定板(23)的上下面上，壓簧(24)和氣囊機構(18)另一端 分別與上活動板(6)、下活動板(17)連接，上活動板(6)、下活動板(17) 分別安裝在的上下相對的兩桿件間；所述的心軸(20)為多孔空心軸，與水 路氣嘴、氣路氣嘴、真空氣嘴連接的通道流體裝置(4)與該多孔空心軸(20) 相連，心軸(20)與運載器法蘭(19)及運載器相連。

2.根據權利要求1所述的化學機械拋光心軸傳動裝置，其特征在于所 述的四連桿機構(16)裝有壓力傳感器(7)，并設有心軸壓力閉環控制電路。

3.根據權利要求1所述的化學機械拋光心軸傳動裝置，其特征在于所 述的公轉軸(11)上裝有傳動帶輪(15)，公轉軸(11)裝在軸座(13)上。

4.根據權利要求1所述的化學機械拋光心軸傳動裝置，其特征在于所 述的心軸自轉機構為：伺服電機(29)通過減速器(1)和心軸(20)連接， 心軸(20)裝在低摩擦力的滾動軸承上。