[發(fā)明專利]應(yīng)用用戶界面控制半導(dǎo)體制造裝置的系統(tǒng)與方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910226266.7
• 申請(qǐng)日: 2009-11-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101750977A
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-06-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姜英順;姜棟然
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 細(xì)美事有限公司
• 主分類號(hào): G05B19/04
• 分類號(hào): G05B19/04;G05B19/418
• 代理公司: 北京中博世達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用

根據(jù)35U.S.C§119的規(guī)定，本美國(guó)非臨時(shí)專利申請(qǐng)要求于2008年11月27 日提交的申請(qǐng)?zhí)枮?0-2008-0118516的韓國(guó)專利申請(qǐng)的優(yōu)先權(quán)，其全部?jī)?nèi)容通 過(guò)引用合并于此。

技術(shù)背景

在此公開(kāi)的本發(fā)明涉及控制系統(tǒng)，尤其涉及使用用戶界面進(jìn)行半導(dǎo)體制造 裝置的控制、監(jiān)測(cè)與管理的系統(tǒng)與方法。

一般而言，生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品需要很多步加工工序。為了控制這些加工工序， 就需要在生產(chǎn)線上構(gòu)建各種半導(dǎo)體制造裝置。為了控制各種加工工序，半導(dǎo)體 制造裝置擁有一套通過(guò)網(wǎng)絡(luò)連接的控制系統(tǒng)。舉例來(lái)說(shuō)，控制系統(tǒng)包括可編程 邏輯控制器或計(jì)算機(jī)，該控制系統(tǒng)設(shè)置一套工藝制程，包括工藝條件與工藝流 程，用來(lái)控制半導(dǎo)體制造裝置。該控制系統(tǒng)監(jiān)控工藝規(guī)程控制的各部分，以管 理與工藝相關(guān)的信息。根據(jù)制造工藝，半導(dǎo)體制造裝置包括多種的組件。一般 來(lái)說(shuō)，半導(dǎo)體制造裝置包括加工基板用的加工單元，與運(yùn)輸基板用的運(yùn)輸單元。

半導(dǎo)體制造裝置的控制系統(tǒng)通過(guò)網(wǎng)絡(luò)傳輸數(shù)據(jù)來(lái)控制、監(jiān)測(cè)與管理該半導(dǎo) 體制造裝置的各加工工序。

為此目的，控制系統(tǒng)擁有一套控制程序，該控制程序使用用戶界面實(shí)現(xiàn)對(duì) 半導(dǎo)體制造設(shè)備的控制、監(jiān)測(cè)與管理。其中用戶界面內(nèi)含有多種必要的菜單以 對(duì)各個(gè)單元的工藝規(guī)程進(jìn)行設(shè)置、監(jiān)測(cè)與操作。例如，每臺(tái)半導(dǎo)體制造設(shè)備都 設(shè)有上百個(gè)菜單，使用者可以應(yīng)用這些菜單，并根據(jù)半導(dǎo)體制造裝置的加工過(guò) 程控制、監(jiān)測(cè)與分析信息。在載入模式下，用戶界面可以向最初主屏幕載入許 多可操作菜單屏幕。在菜單選擇模式下，用戶界面在所選菜單屏幕的上部區(qū)域 顯示多種的信息與子菜單。

在菜單選擇模式下，如果用戶修改的數(shù)據(jù)存在于上級(jí)屏幕中，因?yàn)閺纳霞?jí) 屏幕到選擇屏幕做了切換，所以這些修改的數(shù)據(jù)就會(huì)丟失。例如，當(dāng)有多個(gè)界 面與創(chuàng)建數(shù)據(jù)相關(guān)時(shí)，為了查明與本數(shù)據(jù)相關(guān)的其它數(shù)據(jù)，在數(shù)據(jù)創(chuàng)建完成之 前如果從第一界面切換到另一界面時(shí)，數(shù)據(jù)就會(huì)在創(chuàng)建狀態(tài)下丟失。在這種情 況下，使用者會(huì)感到很麻煩，因?yàn)椴坏貌恢匦聞?chuàng)建數(shù)據(jù)。而且無(wú)論何時(shí)選擇屏 幕時(shí)由于用戶界面獲得、處理與菜單有關(guān)的數(shù)據(jù)，屏幕就被刷新。在這種情況 下，屏幕就會(huì)切換而沒(méi)有保存編輯或修改狀態(tài)下的數(shù)據(jù)。

同樣，如果用戶已經(jīng)通過(guò)用戶界面訪問(wèn)多個(gè)菜單，即使當(dāng)用戶希望重新訪 問(wèn)已訪問(wèn)的菜單時(shí)，也必須通過(guò)幾步菜單選擇步驟重新選擇希望訪問(wèn)的菜單位 置，以選擇菜單。因此，用戶會(huì)感到很不方便，由于不得不重復(fù)相同的操作以 重新訪問(wèn)已訪問(wèn)的菜單。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實(shí)施例，提供了使用用戶界面控制半導(dǎo)體制造裝置的系統(tǒng)與方法。

本發(fā)明實(shí)施例，還提供了控制半導(dǎo)體制造裝置的系統(tǒng)與方法，該系統(tǒng)與方 法可以通過(guò)導(dǎo)航菜單以歷史順序顯示用戶訪問(wèn)的菜單、從而方便地控制對(duì)各種 菜單的訪問(wèn)。

本發(fā)明實(shí)施例，還提供了控制半導(dǎo)體制造裝置的系統(tǒng)與方法，該系統(tǒng)與方 法可以使用用戶界面以防止屏幕切換中數(shù)據(jù)丟失。

本發(fā)明的控制系統(tǒng)使用用戶界面控制、監(jiān)測(cè)與管理半導(dǎo)體制造裝置。該控 制系統(tǒng)提供了基于用戶界面的導(dǎo)航菜單，從而便于在用戶訪問(wèn)的菜單間切換。

本發(fā)明的部分實(shí)施例中，控制半導(dǎo)體制造裝置的系統(tǒng)包括：多個(gè)菜單對(duì)話， 用于控制、監(jiān)測(cè)及管理半導(dǎo)體制造裝置。導(dǎo)航菜單，用于顯示用戶訪問(wèn)的菜單 對(duì)話。導(dǎo)航控制器，用于激活導(dǎo)航菜單、記錄與管理該導(dǎo)航菜單。還包括顯示 控制器，用于在界面中顯示導(dǎo)航菜單。

其它的實(shí)施例中，導(dǎo)航菜單以菜單條的樣式顯示；

另外的實(shí)施例中，導(dǎo)航菜單放置于界面的上邊區(qū)域，并且按順序提供分別 與所述用戶訪問(wèn)菜單對(duì)話相對(duì)應(yīng)的菜單條。

在另外的實(shí)施例中，所述系統(tǒng)還包括數(shù)據(jù)緩沖器，用于儲(chǔ)存用戶訪問(wèn)的菜 單對(duì)話框中修改的數(shù)據(jù)。

在另外的實(shí)施例中，如果從當(dāng)前訪問(wèn)菜單對(duì)話框切換到另一個(gè)菜單對(duì)話框 而未保存所述修改數(shù)據(jù)時(shí)，所述導(dǎo)航控制器將所述修改數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到所述數(shù)據(jù)緩 沖器中。

在另外的實(shí)施例中，如果從當(dāng)前訪問(wèn)菜單對(duì)話框切換到另一個(gè)菜單對(duì)話框 而未保存修改數(shù)據(jù)時(shí)，所述導(dǎo)航控制器在菜單切換之前自動(dòng)將所述修改數(shù)據(jù)儲(chǔ) 存到所述數(shù)據(jù)緩沖器中。

在另外的實(shí)施例中，所述導(dǎo)航控制器互不相同地顯示與無(wú)修改數(shù)據(jù)的菜單 對(duì)話框相對(duì)應(yīng)的菜單條、及與帶有修改數(shù)據(jù)菜單對(duì)話框相對(duì)應(yīng)的菜單條，所述 兩種菜單條包含在所述導(dǎo)航菜單中。