[發(fā)明專(zhuān)利]應(yīng)用用戶(hù)界面控制半導(dǎo)體制造裝置的系統(tǒng)與方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910226266.7
• 申請(qǐng)日: 2009-11-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101750977A
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-06-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姜英順;姜棟然
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 細(xì)美事有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G05B19/04
• 分類(lèi)號(hào): G05B19/04;G05B19/418
• 代理公司: 北京中博世達(dá)專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種控制半導(dǎo)體制造裝置的系統(tǒng)，包括：

多個(gè)菜單對(duì)話框，用于控制、監(jiān)測(cè)及管理半導(dǎo)體制造裝置；

導(dǎo)航控制器，用于激活導(dǎo)航菜單，并以歷史順序記錄與管理用戶(hù)訪問(wèn)的菜 單對(duì)話框；所述導(dǎo)航菜單，用于以歷史順序顯示所述用戶(hù)訪問(wèn)的菜單對(duì)話框；和

顯示驅(qū)動(dòng)器，用于在屏幕中顯示所述導(dǎo)航菜單；

所述導(dǎo)航控制器互不相同地顯示與無(wú)修改數(shù)據(jù)的菜單對(duì)話框相對(duì)應(yīng)的菜單 條、及與帶有修改數(shù)據(jù)的菜單對(duì)話框相對(duì)應(yīng)的菜單條，所述兩種菜單條包含在 所述導(dǎo)航菜單中。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述導(dǎo)航菜單以菜單條的樣式顯示。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其中，所述導(dǎo)航菜單置于屏幕的上部區(qū)域， 并且順序地提供分別與用戶(hù)訪問(wèn)的菜單對(duì)話框相對(duì)應(yīng)的菜單條。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，還包括數(shù)據(jù)緩沖器，用于儲(chǔ)存用戶(hù)訪問(wèn)的 所述菜單對(duì)話框中修改的數(shù)據(jù)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，其中，如果從當(dāng)前訪問(wèn)的菜單對(duì)話框切換 到另一個(gè)菜單對(duì)話框而未保存所述修改數(shù)據(jù)時(shí)，所述導(dǎo)航控制器將所述修改數(shù) 據(jù)存儲(chǔ)到所述數(shù)據(jù)緩沖器中。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中，如果從當(dāng)前訪問(wèn)的菜單對(duì)話框切換 到另一個(gè)菜單對(duì)話框而未保存所述修改數(shù)據(jù)時(shí)，所述導(dǎo)航控制器在菜單切換之 前自動(dòng)將所述修改數(shù)據(jù)儲(chǔ)存到所述數(shù)據(jù)緩沖器中。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，還包括數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器，用來(lái)儲(chǔ)存用于在屏幕 中顯示的菜單對(duì)話框與導(dǎo)航菜單的數(shù)據(jù)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，還包括用戶(hù)界面數(shù)據(jù)處理器，用于從所述 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器中讀取屏幕顯示數(shù)據(jù)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其中，如果用戶(hù)選擇了其中一個(gè)菜單對(duì)話 框，所述導(dǎo)航控制器向所述用戶(hù)界面數(shù)據(jù)處理器發(fā)送請(qǐng)求信號(hào)，以請(qǐng)求獲取在 屏幕中顯示的菜單對(duì)話框的數(shù)據(jù)；且

所述用戶(hù)界面數(shù)據(jù)處理器響應(yīng)所述請(qǐng)求信號(hào)，從所述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器中讀取屏 幕顯示數(shù)據(jù)，并將所讀取的屏幕顯示數(shù)據(jù)提供給所述導(dǎo)航控制器。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述顯示驅(qū)動(dòng)器在屏幕的上部區(qū) 域顯示當(dāng)前訪問(wèn)的菜單對(duì)話框與所述導(dǎo)航菜單。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括下位控制器，所述下位控 制器與半導(dǎo)體制造裝置相連；還包括上位控制器，所述上位控制器與所述下位 控制器相連，

其中，所述上位控制器與所述下位控制器中的至少一個(gè)包含用戶(hù)界面應(yīng)用 程序。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的系統(tǒng)，其中，所述下位控制器包括客戶(hù)工具控 制器，所述客戶(hù)工具控制器通過(guò)內(nèi)部網(wǎng)絡(luò)連接到所述半導(dǎo)體制造裝置。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的系統(tǒng)，其中，所述上位控制器包括主機(jī)，所述 主機(jī)通過(guò)外部網(wǎng)絡(luò)連接到半導(dǎo)體制造裝置，以對(duì)所述半導(dǎo)體制造裝置進(jìn)行遠(yuǎn)程 控制。

14.一種控制半導(dǎo)體制造裝置的方法，包括：

加載含有菜單的用戶(hù)界面，所述菜單用于對(duì)半導(dǎo)體制造裝置進(jìn)行控制、監(jiān) 測(cè)與管理；

顯示屏幕，用于選擇其中的一個(gè)菜單；且

顯示導(dǎo)航菜單，用于將所選菜單以歷史順序記錄在屏幕上；

所述顯示導(dǎo)航菜單包括：互不相同地顯示與所選菜單中的包括用戶(hù)修改數(shù) 據(jù)的菜單相對(duì)應(yīng)的菜單條、以及與不帶修改數(shù)據(jù)的菜單相對(duì)應(yīng)的菜單條。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其中，所述顯示導(dǎo)航菜單包括：

將所述導(dǎo)航菜單設(shè)置在屏幕的上部區(qū)域；和

以菜單條的樣式顯示所述導(dǎo)航菜單，所述菜單條分別對(duì)應(yīng)用戶(hù)選擇的菜單。

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其中，所述顯示導(dǎo)航菜單包括：

當(dāng)從當(dāng)前訪問(wèn)的菜單切換到與用戶(hù)選擇的任一菜單相對(duì)應(yīng)的其它菜單時(shí)， 在所述導(dǎo)航菜單中記錄與顯示新的菜單條。