[發(fā)明專利]蒸發(fā)方法及蒸發(fā)設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910225436.X
• 申請(qǐng)日: 2009-12-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101724810A
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-06-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 宋怡樺;徐士峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 友達(dá)光電股份有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/04
• 分類號(hào): C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H05B33/10
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 任默聞

1.一種蒸發(fā)方法，其特征在于，所述蒸發(fā)方法包括：

提供一基板；

提供一蒸發(fā)掩模，所述蒸發(fā)掩模上具有N個(gè)圖案區(qū)域，所述N＝4ⁿ，且n為0或0以上的正整數(shù)，所述N個(gè)圖案區(qū)域在所述蒸發(fā)掩模上均勻分布；

提供一蒸發(fā)源，其中所述蒸發(fā)源具有多個(gè)蒸發(fā)區(qū)域，每一個(gè)蒸發(fā)區(qū)域?qū)?yīng)所述蒸發(fā)掩模的至少一圖案區(qū)域設(shè)置；

將所述蒸發(fā)掩模設(shè)置于所述基板與所述蒸發(fā)源之間；

對(duì)所述基板進(jìn)行一第一次蒸發(fā)步驟；

將所述基板沿一方向轉(zhuǎn)動(dòng)90度之后，對(duì)所述基板進(jìn)行一第二次蒸發(fā)步驟；

再次將所述基板沿所述方向轉(zhuǎn)動(dòng)90度之后，對(duì)所述基板進(jìn)行一第三次蒸發(fā)步驟；以及

再次將所述基板沿所述方向轉(zhuǎn)動(dòng)90度之后，對(duì)所述基板進(jìn)行一第四次蒸發(fā)步驟。

2.如權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)方法，其特征在于，將所述蒸發(fā)掩模設(shè)置于所述基板與所述蒸發(fā)源之間是將所述蒸發(fā)掩模設(shè)置于所述基板下方，且再將所述蒸發(fā)源設(shè)置于所述蒸發(fā)掩模下方。

3.如權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)方法，其特征在于，所述蒸發(fā)方法更包括在所述這些蒸發(fā)區(qū)域內(nèi)各自設(shè)置多個(gè)蒸發(fā)材料，其中所述這些蒸發(fā)材料不完全相同。

4.如權(quán)利要求3所述的蒸發(fā)方法，其特征在于，所述這些蒸發(fā)區(qū)域中的每個(gè)對(duì)應(yīng)設(shè)置一第一顏色蒸發(fā)材料、一第二顏色蒸發(fā)材料與一第三顏色蒸發(fā)材料中的一個(gè)。

5.如權(quán)利要求4所述的蒸發(fā)方法，其特征在于，所述這些蒸發(fā)區(qū)域內(nèi)更包括在沒(méi)有蒸發(fā)材料的區(qū)域設(shè)置一第四顏色蒸發(fā)材料。

6.如權(quán)利要求5所述的蒸發(fā)方法，其特征在于，所述第四顏色蒸發(fā)材料選自所述第一顏色蒸發(fā)材料、所述第二顏色蒸發(fā)材料與所述第三顏色蒸發(fā)材料其中之一。

7.如權(quán)利要求5所述的蒸發(fā)方法，其特征在于，所述第四顏色蒸發(fā)材料選自一不同于所述第一顏色蒸發(fā)材料、所述第二顏色蒸發(fā)材料與所述第三顏色蒸發(fā)材料的蒸發(fā)材料。

8.一種蒸發(fā)設(shè)備，其特征在于，所述蒸發(fā)設(shè)備用以根據(jù)如權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)方法對(duì)一基板進(jìn)行蒸發(fā)，所述蒸發(fā)設(shè)備包括：

一蒸發(fā)源，所述蒸發(fā)源具有多個(gè)蒸發(fā)區(qū)域，其中所述這些蒸發(fā)區(qū)域內(nèi)的蒸發(fā)材料不完全相同；

一蒸發(fā)掩模，所述蒸發(fā)掩模上具有N個(gè)圖案區(qū)域，所述N＝4ⁿ，且n為0或0以上的正整數(shù)，所述N個(gè)圖案區(qū)域在所述蒸發(fā)掩模上均勻分布，且所述蒸發(fā)源的每一個(gè)蒸發(fā)區(qū)域?qū)?yīng)所述蒸發(fā)掩模的至少一圖案區(qū)域設(shè)置。

9.如權(quán)利要求8所述的蒸發(fā)設(shè)備，其特征在于，所述蒸發(fā)設(shè)備更包括一檔板，設(shè)置于所述蒸發(fā)源的所述這些蒸發(fā)區(qū)域之間。

10.如權(quán)利要求8所述的蒸發(fā)設(shè)備，其中所述蒸發(fā)源包括點(diǎn)蒸發(fā)源、線蒸發(fā)源或面蒸發(fā)源。

11.如權(quán)利要求8所述的蒸發(fā)設(shè)備，其特征在于，所述蒸發(fā)設(shè)備更包括一第一顏色蒸發(fā)材料、一第二顏色蒸發(fā)材料與一第三顏色蒸發(fā)材料，所述第一顏色蒸發(fā)材料、所述第二顏色蒸發(fā)材料與所述第三顏色蒸發(fā)材料中的每個(gè)對(duì)應(yīng)設(shè)置在所述這些蒸發(fā)區(qū)域內(nèi)的一個(gè)。

12.如權(quán)利要求11所述的蒸發(fā)設(shè)備，其特征在于，所述蒸發(fā)設(shè)備更包括一第四顏色蒸發(fā)材料，所述第四顏色蒸發(fā)材料對(duì)應(yīng)設(shè)置在所述這些蒸發(fā)區(qū)域內(nèi)沒(méi)有蒸發(fā)材料的區(qū)域。

13.如權(quán)利要求12所述的蒸發(fā)設(shè)備，其特征在于，所述第四顏色蒸發(fā)材料選自所述第一顏色蒸發(fā)材料、所述第二顏色蒸發(fā)材料與所述第三顏色蒸發(fā)材料其中之一。

14.如權(quán)利要求12所述的蒸發(fā)設(shè)備，其特征在于，所述第四顏色蒸發(fā)材料選自一不同于所述第一顏色蒸發(fā)材料、所述第二顏色蒸發(fā)材料與所述第三顏色蒸發(fā)材料的蒸發(fā)材料。