[發(fā)明專利]對(duì)被懸浮搬送的對(duì)象物的狀態(tài)進(jìn)行檢測(cè)的方法和裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910224795.3
• 申請(qǐng)日: 2009-11-20
• 公開（公告）號(hào): CN101738162A
• 公開（公告）日: 2010-06-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 平田賢輔;坂野肇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社IHI
• 主分類號(hào): G01B11/00
• 分類號(hào): G01B11/00;G01C11/00;G01P3/68
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及在使對(duì)象物懸浮的同時(shí)對(duì)該對(duì)象物進(jìn)行搬送的懸浮搬送裝置 中檢測(cè)被懸浮搬送的對(duì)象物的狀態(tài)的方法和裝置。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體設(shè)備和液晶面板的制造中會(huì)使用玻璃制成的基板。通常，玻璃制成 的基板通過(guò)壓縮空氣等流體在懸浮的同時(shí)進(jìn)行搬送，以防止基板受傷。但是， 雖然很少見(jiàn)，但是還是會(huì)發(fā)生以下情況：由于懸浮高度不足等各種原因，玻璃 基板與懸浮搬送裝置的某個(gè)部位接觸而使得玻璃制成的基板受傷。

為了確認(rèn)是否有傷，人們可以通過(guò)目視來(lái)進(jìn)行檢查。這樣的作業(yè)需要中斷 工序，因此，會(huì)明顯損害高度自動(dòng)化的工序的效率。從而需要自動(dòng)檢測(cè)有無(wú)接 觸的方法和裝置。

日本國(guó)專利申請(qǐng)公開2007-076836號(hào)公報(bào)公開了一種氣體懸浮搬送裝置， 其具有對(duì)與搬送面接觸時(shí)在檢測(cè)用搬送體與搬送面之間流過(guò)的電流進(jìn)行檢測(cè) 的檢測(cè)器。根據(jù)該技術(shù)，需要對(duì)搬送面預(yù)先附加導(dǎo)電性覆膜。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種對(duì)被懸浮搬送的對(duì)象物的狀態(tài)進(jìn)行檢測(cè)的方 法和裝置，以便能夠?qū)?duì)象物與懸浮搬送裝置有無(wú)接觸自動(dòng)進(jìn)行檢測(cè)。

根據(jù)本發(fā)明的第一方面，一種檢測(cè)對(duì)象物的狀態(tài)的方法，該對(duì)象物相比于 搬送面向上方浮起并被搬送、而且具有多個(gè)標(biāo)識(shí)，在上述方法中，通過(guò)彼此分 離地配置的多個(gè)照相機(jī)對(duì)懸浮搬送的路徑中的區(qū)域分別進(jìn)行拍攝，在通過(guò)所述 照相機(jī)拍攝到的各圖像中，分別確定與所述對(duì)象物中的所述標(biāo)識(shí)對(duì)應(yīng)的像素的 位置，根據(jù)所確定的所述像素的各所述位置計(jì)算出所述對(duì)象物的三維位置。

優(yōu)選的是，上述方法還包括：根據(jù)所述三維位置來(lái)檢測(cè)所述對(duì)象物與所述 搬送面有無(wú)接觸、或檢測(cè)所述對(duì)象物與所述搬送面接觸的部位。另外，優(yōu)選的 是，上述方法還包括：根據(jù)所述三維位置的隨時(shí)間變化來(lái)計(jì)算出所述對(duì)象物的 速度?；蛘邇?yōu)選的是，上述方法還包括：根據(jù)所述三維位置的隨時(shí)間變化來(lái)檢 測(cè)所述對(duì)象物有沒(méi)有失控、或計(jì)算所述對(duì)象物的失控量。

根據(jù)本發(fā)明的第二方面，一種檢測(cè)對(duì)象物的狀態(tài)的裝置，該對(duì)象物相比于 搬送面向上方浮起并被搬送、而且具有多個(gè)標(biāo)識(shí)，在上述裝置中，具備：多個(gè) 照相機(jī)，它們彼此分離地配置，用于對(duì)懸浮搬送的路徑中的區(qū)域分別進(jìn)行拍攝； 以及控制裝置，其用于在通過(guò)所述照相機(jī)拍攝到的各圖像中，分別確定與所述 對(duì)象物中的所述標(biāo)識(shí)對(duì)應(yīng)的像素，并根據(jù)所確定的各所述像素的位置和所述照 相機(jī)的位置，來(lái)計(jì)算出所述對(duì)象物的三維位置。

優(yōu)選的是，所述控制裝置還用于根據(jù)所述三維位置來(lái)檢測(cè)所述對(duì)象物與所 述搬送面有無(wú)接觸、或檢測(cè)所述對(duì)象物與所述搬送面接觸的部位。另外優(yōu)選的 是，所述控制裝置還用于根據(jù)所述三維位置的隨時(shí)間變化來(lái)計(jì)算出所述對(duì)象物 的速度?；蛘邇?yōu)選的是，所述控制裝置還用于根據(jù)所述三維位置的隨時(shí)間變化 來(lái)檢測(cè)所述對(duì)象物有沒(méi)有失控、或計(jì)算所述對(duì)象物的失控量。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明的實(shí)施方式涉及的檢測(cè)裝置的概要立體圖。

圖2是上述檢測(cè)裝置中的電連接的概要圖。

圖3是與利用上述檢測(cè)裝置的檢測(cè)方法有關(guān)的流程圖。

圖4是表示圖3的流程圖中的圖像數(shù)據(jù)解析處理的詳細(xì)內(nèi)容的流程圖。

圖5是表示圖3的流程圖中的懸浮搬送狀態(tài)檢測(cè)處理的詳細(xì)內(nèi)容的流程 圖。

圖6是應(yīng)用上述檢測(cè)裝置的懸浮搬送裝置的局部俯視圖。

圖7是上述懸浮搬送裝置的側(cè)視圖。

圖8是上述懸浮搬送裝置的局部縱剖視圖。

具體實(shí)施方式

下面，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。為了便于說(shuō)明，如圖1 所圖示，定義出X、Y、Z軸，并且定義X、Y、Z方向?yàn)檠刂鳻、Y、Z軸的 方向。這樣的定義是為了便于說(shuō)明，本發(fā)明并不一定要限定于此。

如圖1以及圖6到圖8所示，本發(fā)明的實(shí)施方式中涉及的懸浮搬送裝置 10是用于使對(duì)象物W在垂直方向上(圖中的Z方向)上懸浮起來(lái)并沿水平的 搬送方向(圖中的X方向)搬送該對(duì)象物W的裝置。