[發(fā)明專利]抗蝕墨及使用該抗蝕墨形成圖案的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910220851.6
• 申請(qǐng)日: 2009-11-06
• 公開（公告）號(hào): CN101738864A
• 公開（公告）日: 2010-06-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金圣姬;金柄杰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 樂金顯示有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/075
• 分類號(hào): G03F7/075;G03F7/00
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 丁香蘭;龐東成

1.一種抗蝕墨，所述抗蝕墨包含：

70重量％以下的溶劑；

10重量％～15重量％的基礎(chǔ)聚合物；

10重量％～15重量％的增粘劑；

3重量％以下的添加劑；和

1重量％～10重量％的偶聯(lián)劑，

其中，對(duì)混合的材料加熱，通過所述偶聯(lián)劑在所述抗蝕墨中形成交 聯(lián)，其中，所述溶劑包含以9:1的比例混合的載體溶劑和印刷溶劑。

2.如權(quán)利要求1所述的抗蝕墨，所述溶劑包含載體溶劑和印刷溶劑， 其中所述印刷溶劑的沸點(diǎn)高于所述載體溶劑的沸點(diǎn)。

3.如權(quán)利要求1所述的抗蝕墨，其中，所述添加劑包括表面活性劑 和染料。

4.如權(quán)利要求1所述的抗蝕墨，其中，所述偶聯(lián)劑具有等于或高于 200℃的沸點(diǎn)。

5.如權(quán)利要求1所述的抗蝕墨，其中，所述偶聯(lián)劑是選自由金屬偶 聯(lián)劑和磷酸酯偶聯(lián)劑組成的組中的一種偶聯(lián)劑，所述金屬偶聯(lián)劑包括鈦 酸酯、有機(jī)鉻絡(luò)合物和鋁酸酯。

6.如權(quán)利要求1所述的抗蝕墨，其中，所述載體溶劑為乙醇，所述 偶聯(lián)劑為甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷或N-(2-氨乙基)-3-氨丙基三 甲氧基硅烷。

7.如權(quán)利要求1所述的抗蝕墨，其中，所述載體溶劑為甲醇，所述 偶聯(lián)劑為γ-巰基-丙基三乙氧基硅烷。

8.如權(quán)利要求1所述的抗蝕墨，其中，所述溶劑是熱固性的，所述 偶聯(lián)劑為N-(2-氨乙基)-3-氨丙基三甲氧基硅烷。

9.如權(quán)利要求1所述的抗蝕墨，其中，所述溶劑為烷基溶劑，所述 偶聯(lián)劑為N-(2-氨乙基)-3-氨丙基三甲氧基硅烷。

10.如權(quán)利要求1所述的抗蝕墨，其中，所述溶劑為苯基溶劑，所 述偶聯(lián)劑為N-[2(乙烯基芐基氨基)-乙基]-3-氨丙基三甲氧基硅烷。

11.如權(quán)利要求1所述的抗蝕墨，其中，所述溶劑為不飽和溶劑，所 述偶聯(lián)劑為3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷。

12.如權(quán)利要求1所述的抗蝕墨，其中，所述溶劑為胺敏感性溶劑， 所述偶聯(lián)劑為3-縮水甘油醚氧基丙基三甲氧基硅烷。

13.一種形成圖案的方法，所述方法包括：

提供其上具有蝕刻目標(biāo)層的基板；

制備由70重量％以下的溶劑、10重量％～15重量％的基礎(chǔ)聚合物、 10重量％～15重量％的增粘劑、3重量％以下的添加劑和1重量％～10 重量％的偶聯(lián)劑構(gòu)成的抗蝕墨；

將所述抗蝕墨形成于輥上；

在與具有凸起圖案的電鑄板接觸的狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)具有所述抗蝕墨的所 述輥，并從所述輥上去除與所述凸起圖案接觸的所述抗蝕墨，以在所述 輥表面上形成抗蝕圖案；

在所述基板上旋轉(zhuǎn)所述輥，以將所述抗蝕圖案轉(zhuǎn)印至所述蝕刻目標(biāo) 層；

對(duì)經(jīng)轉(zhuǎn)印的所述抗蝕圖案加熱，以使所述抗蝕圖案與所述蝕刻目標(biāo) 層偶聯(lián)；和

通過使用所述抗蝕圖案來蝕刻所述蝕刻目標(biāo)層，

其中，所述抗蝕圖案在加熱時(shí)通過形成交聯(lián)而經(jīng)由所述偶聯(lián)劑與所 述蝕刻目標(biāo)層偶聯(lián)，

其中，所述溶劑包含以9:1的比例混合的載體溶劑和印刷溶劑。

14.如權(quán)利要求13所述的方法，其中，所述蝕刻目標(biāo)層包括金屬層、 半導(dǎo)體層和絕緣層中的至少一種。

15.如權(quán)利要求13所述的方法，其中，所述偶聯(lián)劑是選自由以下硅 烷偶聯(lián)劑組成的組中的一種硅烷偶聯(lián)劑：甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基 硅烷、N-(2-氨乙基)-3-氨丙基三甲氧基硅烷、γ-巰基-丙基三乙氧基硅烷、 N-[2(乙烯基芐基氨基)-乙基]-3-氨丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基 丙基三甲氧基硅烷和3-縮水甘油醚氧基丙基三甲氧基硅烷。