[發(fā)明專利]平面全息光柵制作中光柵基底的零級光定位方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910217814.X
• 申請日: 2009-11-05
• 公開（公告）號: CN101718884A
• 公開（公告）日: 2010-06-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孔鵬;李文昊;巴音賀希格;齊向東;唐玉國
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所
• 主分類號: G02B5/18
• 分類號: G02B5/18
• 代理公司: 長春菁華專利商標(biāo)代理事務(wù)所 22210
• 代理人: 劉樹清

1.平面全息光柵制作中光柵基底的零級光定位方法，該方法是利用平面全息光柵曝光裝置實現(xiàn)的，其特征在于：步驟一，配備一套平面全息光柵曝光裝置，包括激光光源(1)、第一平面反射鏡(2)、第二平面反射鏡(3)、空間濾波器(4)、準(zhǔn)直反射鏡(5)、第三平面反射鏡(6)、第四平面反射鏡(7)、第五平面反射鏡(8)、第六平面反射鏡(9)、半反半透鏡(10)、標(biāo)準(zhǔn)機刻反射光柵(11)和接收屏(12)；激光光源(1)發(fā)出的光束經(jīng)第一平面反射鏡(2)和第二平面反射鏡(3)反射，再經(jīng)空間濾波器(4)擴束濾波后成為球面波，球面波經(jīng)準(zhǔn)直反射鏡(5)準(zhǔn)直后成為平行光，在平行光光路里放置第五平面反射鏡(8)引出一束平行光，再經(jīng)第六平面反射鏡(9)反射后到達(dá)半反半透鏡(10)，調(diào)整第六平面反射鏡(9)使通過半反半透鏡(10)的反射光和透射光均以自準(zhǔn)直衍射角入射到標(biāo)準(zhǔn)機刻反射光柵(11)上，這兩束光經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)機刻反射光柵(11)的±1級自準(zhǔn)直衍射后，各自按它們的入射方向原路返回，再經(jīng)半反半透鏡(10)之后，-1級的反射光和+1級的透射光在半反半透鏡(10)的另一側(cè)重疊，在接收屏(12)上能夠觀察到鉛直并清晰可見的干涉條紋；步驟二，在平面全息光柵曝光裝置中，在正對標(biāo)準(zhǔn)機刻反射光柵(11)的一側(cè)置有監(jiān)測激光器(13)，在監(jiān)測激光器(13)的出射光路前方置有第一分劃板(14)，監(jiān)測激光器(13)的出射光束穿過第一分劃板(14)中心正入射到標(biāo)準(zhǔn)機刻反射光柵(11)上，零級衍射光原路返回第一分劃板(14)中心；步驟三，從平面全息光柵曝光裝置光路結(jié)構(gòu)及零級光定位裝置中取下標(biāo)準(zhǔn)機刻反射光柵(11)、第五平面反射鏡(8)和第六平面反射鏡(9)，并確保半反半透鏡(10)、接收屏(12)、監(jiān)測激光器(13)和第一分劃板(14)的位置不變，這時調(diào)節(jié)放置在平行光光路中的第三平面反射鏡(6)和第四平面反射鏡(7)的反射光分別經(jīng)半反半透鏡(10)透射和反射后疊加，使接收屏(12)上的干涉條紋的方向和數(shù)量分別與標(biāo)準(zhǔn)機刻反射光柵(11)所產(chǎn)生的干涉條紋相同，在監(jiān)測激光器(13)的出射光束的傳播方向上半反半透鏡(10)的另一側(cè)遠(yuǎn)處放置第二分劃板(15)，使監(jiān)測激光器(13)的出射光束穿過第二分劃板(15)的中心，這時將監(jiān)測激光器(13)移到第二分劃板(15)后方并使其出射光束先后通過第二分劃板(15)和第一分劃板(14)的中心；步驟四，取下半反半透鏡(10)、接收屏(12)和第一分劃板(14)，將涂有光刻膠的待制作光柵基底(16)放置到標(biāo)準(zhǔn)機刻反射光柵(11)的位置，光柵基底(16)的裝卡具安裝在能夠調(diào)整旋轉(zhuǎn)、俯仰的精密調(diào)整臺上，調(diào)整光柵基底(16)使監(jiān)測激光器(13)的出射光束經(jīng)光柵基底(16)的反射光原路返回第二分劃板(15)的中心，此時進行曝光就能制作出具有標(biāo)準(zhǔn)光柵常數(shù)的平面全息光柵。