[發明專利]一種全息光柵制作光路中精確調整刻線密度的裝置

無效

• 申請號: 200910215469.6
• 申請日: 2009-12-31
• 公開（公告）號: CN101750649A
• 公開（公告）日: 2010-06-23
• 發明（設計）人: 李文昊;高鍵翔;巴音賀希格;齊向東;譚鑫;曾瑾
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G02B5/18
• 分類號: G02B5/18;G03F7/20;G02B7/182
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 劉樹清

1.一種全息光柵制作光路中精確調整刻線密度的裝置，包括激光光源(11)、第一平面反射鏡(12)和第二平面反射鏡(13)、空間濾波器(14)、準直反射鏡(15)、干涉場(19)；其特征在于還包括調整反射鏡(16)、來自于準直反射鏡(15)的第一束入射光(17)、來自于調整反射鏡(16)的第二束入射光(18)、基準光柵(20)、接收屏(21)、支撐旋轉臺(22)；其中支撐旋轉臺(22)包括下層臺(23)、上層轉臺(24)、旋轉卡槽(25)、緊固螺絲(26)、旋轉中心軸(27)、調整反射鏡基座(28)、第一調節螺絲組(29)、光柵基座(30)、第二調節螺絲組(31)和第三調節螺絲組(32)；在激光光源(11)的激光束傳播方向的光軸上置有第一平面反射鏡(12)，第一平面反射鏡(12)與光軸成45°夾角安裝，在第一平面反射鏡(12)的反射光的光路上置有第二平面反射鏡(13)，第二平面反射鏡(13)與光軸成45°夾角安裝，在第二平面反射鏡(13)的反射光的光路上置有空間濾波器(14)，經過空間濾波器(14)后形成球面波，在球面波傳播方向放置準直反射鏡(15)，并且準直反射鏡(15)的焦點位置位于球面波波源點，球面波波源點的位置在空間濾波器(14)的出口處，激光束經準直反射鏡(15)后變為準直光束，支撐旋轉臺(22)置于該準直光束的光路中；支撐旋轉臺(22)中上層轉臺(24)與下層臺(23)通過旋轉中心軸(27)連接，上層轉臺(24)能夠圍繞旋轉中心軸(27)旋轉，并且可以使用緊固螺絲(26)通過旋轉卡槽(25)將上層轉臺(24)固定在下層臺(23)上；上層轉臺(24)上安放有調整反射鏡基座(28)和光柵基座(30)，并且這兩個基座成90°夾角安裝，第一調節螺絲組(29)位于調整反射鏡基座(28)的兩側，第二調節螺絲組(31)位于光柵基座(30)的兩側，第三調節螺絲組(32)位于光柵基座(30)左端的兩側；調整反射鏡(16)放置在調整反射鏡基座(28)上，基準光柵(20)放置在光柵基座(30)上，并且調整反射鏡(16)與基準光柵(20)的表面成90°夾角，使準直反射鏡(15)發出的準直光束照射到調整反射鏡(16)和基準光柵(20)的表面；來自于準直反射鏡(15)的第一束入射光(17)與經過調整反射鏡(16)反射的第二束入射光(18)相交匯，在交匯區域形成干涉場(19)，并且基準光柵(20)位于干涉場(19)內，基準光柵(20)的光柵刻線方向垂直于第一束入射光(17)和第二束入射光(18)所組成的平面，基準光柵(20)的表面面向準直反射鏡(15)。