[發(fā)明專利]芯片分離器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910211819.1
• 申請日: 2009-11-05
• 公開（公告）號: CN101740349A
• 公開（公告）日: 2010-06-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 丹尼爾·克勒克納;艾夫斯·米勒曼;丹尼爾·施內(nèi)茨勒
• 申請（專利權(quán)）人: ESEC公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00
• 代理公司: 中原信達知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219
• 代理人: 張建濤;車文

1.一種芯片分離器(1)，包括：

腔室(2)，所述腔室(2)具有蓋板(3)，所述腔室(2)能經(jīng)受真空，所述 蓋板包括具有孔(6)的表面，

多個板(8)，所述多個板(8)布置在所述腔室(2)的內(nèi)部，且突出到所 述孔(6)中，并且能沿相對于所述蓋板(3)的表面(9)垂直延伸或以傾斜方 式延伸的方向移位，以及

用于使所述板(8)移位的驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置包括驅(qū)動機構(gòu) (12)，所述驅(qū)動機構(gòu)(12)包括馬達(14)和銷(13)，

所述銷(13)能通過所述馬達(14)沿預(yù)定路徑(17)在兩個位置之間來 回移動，

所述板(8)中每一個板具有路徑狀開口(16)，而所述銷(13)通過所述 板(8)中每一個板的所述路徑狀開口(16)被引導(dǎo)，其中從一個板(8)到另 一個板(8)所述路徑狀開口(16)是不同的，使得當(dāng)所述銷(13)沿所述預(yù)定 路徑(17)移動時，所述板(8)以預(yù)定順序在上述的相對于所述蓋板(3)的 表面(9)垂直延伸或以傾斜方式延伸的方向上移位。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片分離器(1)，其中，所述驅(qū)動裝置包 括另一驅(qū)動機構(gòu)(11)，利用該另一驅(qū)動機構(gòu)(11)，所述板(8)能沿上述的 相對于所述蓋板(3)的表面(9)垂直延伸或以傾斜方式延伸的方向共同移 位。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的芯片分離器(1)，其中，所述板(8) 包括第一部分(8A)和第二部分(8B)，所述第一部分(8A)包含所述路徑狀 開口(16)，并布置在所述腔室(2)中且與所述驅(qū)動機構(gòu)(12)相聯(lián)接，而所 述第二部分(8B)能夠插在所述第一部分(8A)上。