[發明專利]缺陷檢查裝置和缺陷檢查方法

無效

• 申請號: 200910211124.3
• 申請日: 2009-11-05
• 公開（公告）號: CN101738401A
• 公開（公告）日: 2010-06-16
• 發明（設計）人: 高木修
• 申請（專利權）人: 奧林巴斯株式會社
• 主分類號: G01N21/956
• 分類號: G01N21/956;G02F1/13
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 黃綸偉;馬建軍

技術領域

本發明涉及用于檢查在大型液晶面板等中使用的大型基板上形成的、電信號布線及晶體管電極等的圖案缺陷的缺陷檢查裝置和缺陷檢查方法。

背景技術

以往，在作為TFT液晶基板的制造工序的光刻工序中，有時會由于制造裝置或曝光裝置的異常而導致在基板上形成的圖案中產生缺陷。例如，在基板上附著有顆粒的情況下，會發生局部圖案偏差，且該部分顯現為斑紋。

此外，由于曝光裝置的異常，特別是近年來作為曝光手段的鏡頭掃描方式下的鏡頭調節異常，會產生鏡頭之間的圖案偏差，并顯現為條紋狀的斑紋。哪怕微小的圖案偏差也會導致這些斑紋的產生，但由于這些斑紋不會在電氣上帶來異常，因而在后工序中難以發現。因此，是通過人用肉眼進行觀察的宏觀檢查等來檢查斑紋。

作為自動地定量進行該宏觀檢查的方法，存在如下這樣的技術：利用比圖像分辨率低的精度，預先使用合格基板來獲取預測到出現重復圖案的特征點的預測位置信息，并求出所述預測位置與測量位置之間的誤差，由此來檢測圖案偏差。(例如，參照專利文獻1)。

【專利文獻1】日本特許公開公報：日本特開2004-279244號公報

然而，在現有技術中，需要預先使用實際基板來生成預測位置信息，該基板必須是合格品。然而，要在制造工序開始時制造出合格基板，十分耗時，因而在現有技術中，存在在此之前無法進行相應檢查的問題。

并且，由于需要獲得作為檢查對象的基板的所有機型及所有工序中的、基板上的整個檢查區域的預測位置信息，因此，存在其信息量龐大的問題。

并且，在將預測位置與測量位置進行比較時需要嚴密的定位，因此存在處理十分復雜的問題。

發明內容

本發明正是鑒于上述問題而完成的，其目的在于提供缺陷檢查裝置和缺陷檢查方法，該缺陷檢查裝置和缺陷檢查方法僅利用一部分合格圖案信息即可檢查出檢查基板的圖案偏差，不需要檢查區域整體的預測位置信息，能夠抑制為所需的最小限度的信息量。

用于解決上述課題的本發明的缺陷檢查裝置具有：攝像單元，其對被檢查基板進行拍攝；圖像取入單元，其取入由所述攝像單元拍攝的基板圖像；圖像存儲單元，其將所述圖像取入單元取入的基板圖像作為檢查圖像進行存儲；參照圖像設定單元，其設定圖案匹配用的參照圖像和檢查條件；圖案檢測單元，其使用所述檢查圖像和所述參照圖像來進行圖案匹配；以及圖案偏差量計算單元，其計算作為所述圖案檢測單元的圖案匹配結果的所述檢查圖像與所述參照圖像之間的偏差量。

根據本發明，不需要使用合格基板事先生成信息，能夠利用簡易的手段來檢查圖案偏差。

并且，根據本發明，由于還能夠判定所顯現的斑紋，因此能夠早期發現制造工序的異常。

附圖說明

圖1是應用了本發明的第1實施方式中的缺陷檢查裝置的功能框圖。

圖2是用于說明參照圖像的設定的圖。

圖3是示出用于檢查被檢查基板的檢查處理流程的流程圖。

圖4是用于說明檢查對象與模型之間的圖案匹配的圖。

圖5是示出差分圖像的例子的圖。

圖6是用于說明偏離距離的圖。

圖7是示出由附著在基板上的顆粒引起的斑紋的例子的圖。

圖8是示出由曝光裝置的掃描鏡頭之間的偏差引起的斑紋的例子的圖。

圖9是示出曝光裝置的基板固定機構的錯位的例子的圖。

標號說明

1：被檢查基板；2：照相機部；3：圖像取入部；4：圖像存儲部；5：參照圖像設定部；6：參照圖像存儲部；7：圖案檢測部；8：圖案偏差量計算部；9：偏差量顯示部；10：缺陷檢查裝置；100：參照圖像；101：模型；102：檢查區域；103：檢查區域；110：檢查圖像；120：差分圖像。

具體實施方式

本發明采用了如下結構。

即，根據本發明的一個方式，本發明的缺陷檢查裝置的特征在于，該缺陷檢查裝置具有：攝像單元，其對被檢查基板進行拍攝；圖像取入單元，其取入由所述攝像單元拍攝的基板圖像；圖像存儲單元，其將所述圖像取入單元取入的基板圖像作為檢查圖像進行存儲；參照圖像設定單元，其設定圖案匹配用的參照圖像和檢查條件；圖案檢測單元，其使用所述檢查圖像和所述參照圖像來進行圖案匹配；以及圖案偏差量計算單元，其計算作為所述圖案檢測單元的圖案匹配結果的所述檢查圖像與所述參照圖像之間的偏差量。

另外，本發明的缺陷檢查裝置優選為，所述圖案偏差量計算單元根據該圖案偏差量計算單元計算出的偏差量，計算所述檢查圖像與所述參照圖像之間的圖案偏離距離及偏離方向。