[發明專利]缺陷檢查裝置和缺陷檢查方法

無效

• 申請號: 200910211124.3
• 申請日: 2009-11-05
• 公開（公告）號: CN101738401A
• 公開（公告）日: 2010-06-16
• 發明（設計）人: 高木修
• 申請（專利權）人: 奧林巴斯株式會社
• 主分類號: G01N21/956
• 分類號: G01N21/956;G02F1/13
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 黃綸偉;馬建軍

1.一種缺陷檢查裝置，其特征在于，該缺陷檢查裝置具有：

攝像單元，其對被檢查基板進行拍攝；

圖像取入單元，其取入由所述攝像單元拍攝的基板圖像；

圖像存儲單元，其將所述圖像取入單元取入的基板圖像作為檢查圖像進行存儲；

參照圖像設定單元，其設定圖案匹配用的參照圖像和檢查條件；

圖案檢測單元，其使用所述檢查圖像和所述參照圖像來進行圖案匹配；以及

圖案偏差量計算單元，其計算作為所述圖案檢測單元的圖案匹配結果的所述檢查圖像與所述參照圖像之間的偏差量。

2.根據權利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，

所述圖案偏差量計算單元根據該圖案偏差量計算單元計算出的偏差量，計算所述檢查圖像與所述參照圖像之間的圖案偏離距離及偏離方向。

3.根據權利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，

所述圖案偏差量計算單元根據所述偏差量的分布來判斷所述被檢查基板上顯現的斑紋的種類。

4.根據權利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，

該缺陷檢查裝置具有偏差量顯示單元，該偏差量顯示單元顯示表示由所述圖案偏差量計算單元計算出的偏差量的信息。

5.根據權利要求4所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，

所述偏差量顯示單元視覺顯示由所述圖案偏差量計算單元計算出的所述檢查圖像與所述參照圖像之間的圖案偏離距離及偏離方向。

6.根據權利要求4所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，

所述偏差量顯示單元對表示所述偏離距離和所述偏離方向的符號進行上色，或使所述符號閃爍。

7.一種檢查被檢查基板的缺陷的缺陷檢查方法，其特征在于，

使用拍攝所述被檢查基板而得到的檢查圖像和參照圖像來進行圖案匹配，

計算作為所述圖案匹配的結果的所述檢查圖像與所述參照圖像之間的偏離距離及偏離方向，

判斷所述被檢查基板上顯現的斑紋的種類。