[發明專利]液處理裝置和液處理方法

有效

• 申請號: 200910205874.X
• 申請日: 2009-10-21
• 公開（公告）號: CN101727009A
• 公開（公告）日: 2010-06-09
• 發明（設計）人: 木下道生
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16;G03F7/30;H01L21/00
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種液處理裝置，其用于進行液處理，在該液處理中，從涂敷 液噴嘴向由基板保持部大致水平地保持的基板的表面供給涂敷液，并 向所述基板的表面噴出而形成涂敷膜，該液處理裝置的特征在于，包 括：

用于搬送能夠在由所述基板保持部保持的基板的上方移動的所述 涂敷液噴嘴的噴嘴搬送機構；

用于使所述涂敷液噴嘴在待機位置待機的噴嘴槽；

分液控制部，其用于在所述噴嘴槽中，對來自所述涂敷液噴嘴的 涂敷液的噴出動作，或者涂敷液、該涂敷液的干燥抑制溶劑的吸引動 作和干燥抑制溶劑的排出動作進行分液控制；

用于控制所述分液控制部的控制部；

判定處理部，其設置于所述控制部，用于分析判斷由對所述涂敷 液噴嘴進行攝像的攝像單元所攝像的噴嘴圖像數據；

操作顯示部，其用于進行被攝像的所述涂敷液噴嘴的噴嘴圖像數 據的顯示、以及設定值的輸入；和

軟尺，其具有能夠在所述操作顯示部中與由所述攝像單元得到的 所述涂敷液噴嘴圖像的垂直方向的長度重合地進行固定顯示的刻度 值，其中，

所述操作顯示部輸入用所述軟尺的刻度值設定的設定值使得所述 涂敷液噴嘴內的涂敷液和干燥抑制溶劑成為規定位置，

所述設定值分為第一設定值、第二設定值和第三設定值，所述第 一設定值是從涂敷液噴嘴的前端至被吸引到該涂敷液噴嘴內的涂敷液 的下端液面的距離，第二設定值是從所述前端至被吸引的干燥抑制溶 劑的上端液面的距離，進而，第三設定值是從所述前端至被吸引的干 燥抑制溶劑的下端液面的距離，

所述控制部對所述涂敷液噴嘴的狀態進行攝像使得所述涂敷液噴 嘴內的所述涂敷液和所述干燥抑制溶劑的關系為所述第一設定值、第 二設定值和第三設定值，并基于所述判定處理部與所述涂敷液噴嘴內 的所述涂敷液和所述干燥抑制溶劑各自的吸引位置進行比較，在進行 判定處理的同時對所述分液控制部進行控制。

2.如權利要求1所述的液處理裝置，其特征在于：

所述分液控制部在干燥抑制溶劑比所述設定值多吸入時使所述干 燥抑制溶劑排出至所述設定值。

3.如權利要求1所述的液處理裝置，其特征在于：

在所述噴嘴搬送機構設有多個所述涂敷液噴嘴，能夠對各個涂敷 液噴嘴顯示所述軟尺，個別地進行所述設定值的輸入、判定處理和分 液控制。

4.如權利要求1所述的液處理裝置，其特征在于：

在所述涂敷液的下端液面與所述干燥抑制溶劑的上端液面之間設 有空氣層。

5.如權利要求1所述的液處理裝置，其特征在于：

所述第三設定值是從所述涂敷液噴嘴前端倒吸干燥抑制溶劑的距 離。

6.如權利要求1～5中任一項所述的液處理裝置，其特征在于：

所述噴嘴槽具有所述涂敷液噴嘴的噴出涂敷液的孔、和吸引所述 干燥抑制溶劑的孔，并且具有用于切換所述噴出涂敷液的孔的位置和 吸引所述干燥抑制溶劑的孔的位置的轉動機構，

在所述涂敷液噴嘴吸引所述干燥抑制溶劑時，由所述轉動機構使 所述噴嘴槽轉動，從所述涂敷液噴嘴的噴出涂敷液的孔的位置切換至 吸引干燥抑制溶劑的孔的位置，從設置于所述噴嘴槽的內部的干燥抑 制溶劑的貯存部進行吸引。

7.如權利要求6所述的液處理裝置，其特征在于：

所述噴嘴槽，在所述吸引干燥抑制溶劑的孔具有貯存部，并且具 備當使所述干燥抑制溶劑轉動時，使所述干燥抑制溶劑流通到設置于 所述噴出涂敷液噴嘴的涂敷液的孔的下部的將涂敷液變為廢液的流路 的流路。