[發明專利]光波導路裝置的制造方法

無效

• 申請號: 200910202906.0
• 申請日: 2009-05-18
• 公開（公告）號: CN101587206A
• 公開（公告）日: 2009-11-25
• 發明（設計）人: 程野將行;清水裕介;藤澤潤一
• 申請（專利權）人: 日東電工株式會社
• 主分類號: G02B6/13
• 分類號: G02B6/13;G03F7/00
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種光波導路裝置的制造方法，其是包括以下工序的光波導路裝置的制造方法：在呈粗糙面狀的金屬制基板的表面形成下敷層的工序；在該下敷層的表面形成芯形成用的感光性樹脂層的工序；對該感光性樹脂層照射照射線并曝光成規定圖案，將該曝光部分形成為芯的工序，其特征在于，在上述芯形成工序中，對上述感光性樹脂層照射的照射線是透過該感光性樹脂層到達上述金屬制基板的粗糙面狀表面、并在該粗糙面狀表面進行反射的照射線，在上述下敷層中含有吸收上述照射線的照射線吸收劑。

2.根據權利要求1所述的光波導路裝置的制造方法，其特征在于，在下敷層中含有0.1～10重量％的范圍內的上述照射線吸收劑。

3.根據權利要求1或2中所述的光波導路裝置的制造方法，其特征在于，上述照射線是紫外線。

4.一種光波導路裝置的制造方法，其是包括以下工序的光波導路裝置的制造方法：在呈粗糙面狀的金屬制基板的表面形成下敷層的工序；在該下敷層的表面形成芯形成用的感光性樹脂層的工序；對該感光性樹脂層照射照射線并曝光成規定圖案，將該曝光部分形成為芯的工序，其特征在于，在上述芯形成工序中，對上述感光性樹脂層照射的照射線是透過該感光性樹脂層到達上述金屬制基板的粗糙面狀表面、并在該粗糙面狀表面進行反射的照射線，在形成上述下敷層之前，在金屬制基板的表面形成吸收上述照射線的照射線吸收層。

5.根據權利要求4所述的光波導路裝置的制造方法，其特征在于，上述照射線吸收層由聚酰亞胺樹脂構成。

6.根據權利要求4或5中所述的光波導路裝置的制造方法，其特征在于，上述照射線是紫外線。