[發明專利]壓緊環清洗保護及測量治具

有效

• 申請號: 200910200093.1
• 申請日: 2009-12-08
• 公開（公告）號: CN101780659A
• 公開（公告）日: 2010-07-21
• 發明（設計）人: 廖宗潔;盧國云
• 申請（專利權）人: 上海申和熱磁電子有限公司
• 主分類號: B24C1/00
• 分類號: B24C1/00;H01L21/683;G01B5/02
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司 31002
• 代理人: 王潔

技術領域

本發明涉及再生精密清洗技術領域，特別涉及半導體技術鋁/銅室(AL/CU?Chamber)再生精密清洗技術領域，具體是指壓緊環清洗保護及測量治具。

背景技術

再生精密清洗是在失效模式控制范圍內，清洗客戶在使用過程中產生的殘留物，并且恢復器件表面和內部的物理性能，以使得客戶可以再次使用該器件；鋁/銅室(AL/CUChamber)壓緊環(Clamp?ring)的內邊緣夾面(chuck面)在再生過程中會產生一定的損耗，隨著再生次數的增加，夾面的損耗程度不斷增加，最終導致壓緊環無法正常使用。

請參見圖1所示，圖1是壓緊環1部件，其內邊緣夾面11高度在再生過程中會損耗，每次清洗再生、經過噴砂處理后，夾面11區域的厚度有一定量的損耗(內徑每次清洗損耗大約0.045mm)，并且夾面11產生向下卷曲現象，隨著清洗次數的增加，最終導致部件無法滿足客戶的使用要求，導致部件報廢。

目前，壓緊環1的清洗次數一般20次左右就報廢，客戶部件更換周期短，更換頻繁，中間檢查對壓緊環1保護需要人工加工工時及保護膠帶，且目前壓緊環1失效判斷采用的夾面高度測量治具比較昂貴、效率低，如使用Ring?chuck測量機測量、監控夾面11高度，判斷是否失效，此測量效率不高(測量一個壓緊環1大約需要10分鐘)，并且此臺測量儀價格比價昂貴，用戶使用維護成本高。

因此，有必要對現有鋁/銅室壓緊環再生精密清洗存在的上述缺陷進行全新的設計和改進，力求減少夾面高度在再生過程中的損耗，提高壓緊環清洗次數，延長客戶部件更換周期，解決夾面高度測量效率低，測量治具比較昂貴的問題，大大降低用戶使用維護成本。

發明內容

本發明的目的是克服了上述現有技術中的缺點，提供了壓緊環清洗保護及測量治具，該壓緊環清洗保護及測量治具設計巧妙，能大大減少夾面高度在再生過程中的損耗，顯著提高壓緊環清洗次數，延長客戶部件更換周期，解決夾面高度測量效率低、測量治具比較昂貴的問題，大大降低用戶使用維護成本，適于大規模推廣應用。

為了實現上述目的，在第一方面，本發明提供了一種壓緊環清洗底部保護治具，其特點是，所述壓緊環清洗底部保護治具包括夾面支撐部，所述夾面支撐部具有支撐所述壓緊環的夾面底部的頂部表面。

較佳地，所述夾面支撐部為夾面支撐環。

更佳地，所述夾面支撐環的頂部外側具有至少一對向內對稱的凹陷。保證壓緊環夾面上的小塊(pad)落在凹陷內，使夾面與壓緊環清洗底部保護治具的頂部表面緊貼，從而保證在噴砂處理時壓緊環清洗底部保護治具起到完全的保護作用。

較佳地，所述壓緊環清洗底部保護治具還包括底座，所述夾面支撐部設置在所述底座上。

更佳地，所述壓緊環清洗底部保護治具還包括限位所述壓緊環的限位部，所述限位部設置在所述底座上，所述夾面支撐部位于所述限位部內。

更進一步地，所述限位部為限位環，所述夾面支撐部為支撐環。

在本發明的第二方面，還提供了一種壓緊環清洗上部保護治具，其特點是，所述壓緊環清洗上部保護治具包括遮蓋所述壓緊環的夾面上部的遮蓋面。

較佳地，所述壓緊環清洗上部保護治具為環形圈，所述遮蓋面為所述環形圈的下表面。

更佳地，所述的環形圈的下表面上設置有對稱凹部。與夾面上部有凸部(shadow)的夾緊環匹配，起到定位作用，使夾面上部與壓緊環清洗上部保護治具的遮蓋面緊貼，從而保證在噴砂處理時壓緊環清洗上部保護治具起到完全的保護作用。

在本發明的第三方面，還提供了一種壓緊環夾面高度檢測治具，其特點是，所述壓緊環夾面高度檢測治具包括底板和設置在所述底板上的夾面支承部，所述夾面支承部具有支承所述壓緊環的夾面底部的上部表面，所述底板的上表面平行于所述上部表面。

較佳地，所述夾面支承部是夾面支承環。

本發明的有益效果具體如下：

1、本發明的壓緊環清洗底部保護治具包括夾面支撐部，所述夾面支撐部具有支撐所述壓緊環的夾面底部的頂部表面，使用時壓緊環的夾面底部緊貼在夾面支撐部的頂部表面上，防止部件夾面受外作用力而使夾面產生彎曲，節省中間檢查對壓緊環保護人工加工工時及保護膠帶，大大降低用戶使用維護成本；

2、本發明的壓緊環清洗上部保護治具包括遮蓋所述壓緊環的夾面上部的遮蓋面，使用時該遮蓋面遮蓋住壓緊環的夾面上部，合理保護夾面上部，進行分段分壓力進行噴砂，大大降低壓緊環的夾面高度在再生過程中的損耗，顯著提高壓緊環清洗次數，延長客戶部件更換周期，大大降低用戶使用維護成本；