[發明專利]壓緊環清洗保護及測量治具有效
| 申請號： | 200910200093.1 | 申請日： | 2009-12-08 |
| 公開（公告）號： | CN101780659A | 公開（公告）日： | 2010-07-21 |
| 發明（設計）人： | 廖宗潔;盧國云 | 申請（專利權）人： | 上海申和熱磁電子有限公司 |
| 主分類號： | B24C1/00 | 分類號： | B24C1/00;H01L21/683;G01B5/02 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 31002 | 代理人： | 王潔 |
| 地址： | 200444 上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 壓緊 清洗 保護 測量 | ||
【權利要求書】：
1.一種壓緊環清洗底部保護治具，其特征在于，所述壓緊環清洗底部保護治具包括夾面支撐部、底座和限位所述壓緊環的限位部，所述夾面支撐部設置在所述底座上并具有支撐所述壓緊環的夾面底部的頂部表面，所述限位部設置在所述底座上，所述夾面支撐部位于所述限位部內。
2.根據權利要求1所述的壓緊環清洗底部保護治具，其特征在于，所述夾面支撐部為夾面支撐環。
3.根據權利要求2所述的壓緊環清洗底部保護治具，其特征在于，所述夾面支撐環的頂部外側具有至少一對向內對稱的凹陷。
4.根據權利要求1所述的壓緊環清洗底部保護治具，其特征在于，所述限位部為限位環，所述夾面支撐部為支撐環。
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