[發明專利]一種含氟組合液

有效

• 申請號: 200910197952.6
• 申請日: 2009-10-30
• 公開（公告）號: CN102051281A
• 公開（公告）日: 2011-05-11
• 發明（設計）人: 劉兵;彭洪修;孫廣勝
• 申請（專利權）人: 安集微電子(上海)有限公司
• 主分類號: C11D7/32
• 分類號: C11D7/32;C11D7/26;C11D7/08;C11D7/50
• 代理公司: 上海翰鴻律師事務所 31246
• 代理人: 李佳銘

1.一種含氟組合液，其包含：含羧基聚合物、胍類、氟化物和載體。

2.如權利要求1所述含氟組合液，其特征在于，所述含羧基聚合物質量百分含量為10ppm～2％，所述胍類質量百分含量為10ppm～10％，所述氟化物質量百分含量為0.1～40％。

3.如權利要求2所述含氟組合液，其特征在于，所述含羧基聚合物質量百分含量為10ppm～1％，所述胍類質量百分含量為0.05～1％。

4.如權利要求1所述含氟組合液，其特征在于，所述含羧基聚合物選自丙烯酸聚合物及其共聚物、甲基丙烯酸聚合物及其共聚物、丙烯酸聚合物的醇胺鹽、甲基丙烯酸聚合物的醇胺鹽、聚氧乙烯改性的丙烯酸聚合物及其酯和醇銨鹽、聚氧乙烯改性的甲基丙烯酸聚合物及其酯和醇銨鹽中的一種或多種。

5.如權利要求1所述含氟組合液，其特征在于，所述含羧基聚合物的分子量為500～100000。

6.如權利要求5所述含氟組合液，其特征在于，所述含羧基聚合物的分子量為1000～20000。

7.如權利要求1所述含氟組合液，其特征在于，所述胍類為含有胍基的物質，所述胍基的結構式為

8.如權利要求7所述含氟組合液，其特征在于，所述胍類為選自碳酸胍、醋酸胍、3-胍基丙酸、聚六亞甲基胍和對胍基苯甲酸中的一種或多種。

9.如權利要求1所述含氟組合液，其特征在于，所述氟化物為氟化氫、氟化氫銨和/或氟化氫與堿形成的鹽，所述堿為氨水、季胺氫氧化物和/或醇胺。

10.如權利要求9所述含氟組合液，其特征在于，所述氟化物為選自氟化氫、氟化氫銨、四甲基氟化銨和三羥乙基氟化銨中的一種或多種

11.如權利要求1所述含氟組合液，其特征在于，所述載體為水或有機溶劑的水溶液。

12.如權利要求11所述含氟組合液，其特征在于，所述水的含量不少于5％。

13.如權利要求12所述含氟組合液，其特征在于，所述水的含量為10-90％。

14.如權利要求13所述含氟組合液，其特征在于，所述水的含量為15-70％。

15.如權利要求11所述含氟組合液，其特征在于，所述有機溶劑選自亞砜、砜、咪唑烷酮、吡咯烷酮、咪唑啉酮、醇、醚和酰胺中的一種或多種。

16.如權利要求15所述含氟組合液，其特征在于，所述亞砜為C₁-C₄亞砜和/或C₇-C₁₀的芳基亞砜；所述的砜為C₁-C₄砜和/或C₇-C₁₀的芳基砜；所述的咪唑烷酮為1，3-二甲基-2-咪唑烷酮；所述的吡咯烷酮為N-甲基吡咯烷酮和/或羥乙基吡咯烷酮；所述的咪唑啉酮為1，3-二甲基-2-咪唑啉酮；所述的醇為C₁-C₄烷基醇和/或C₇-C₁₀的芳基醇；所述的醚為C₃-C₂₀的醚；所述的酰胺為C₁-C₆烷基酰胺。

17.如權利要求15所述含氟組合液，其特征在于，所述有機溶劑選自二甲基亞砜、環丁砜、丙二醇、二乙二醇、丙二醇單甲醚、二丙二醇單甲醚、二甲基甲酰胺和二甲基乙酰胺中的一種或多種。