[發明專利]老化測試系統有效
| 申請號: | 200910196931.2 | 申請日: | 2009-10-09 |
| 公開(公告)號: | CN102043100A | 公開(公告)日: | 2011-05-04 |
| 發明(設計)人: | 張榮哲;簡維廷;江順旺 | 申請(專利權)人: | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號: | G01R31/00 | 分類號: | G01R31/00;G01R1/02 |
| 代理公司: | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人: | 李麗 |
| 地址: | 201203 *** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 老化 測試 系統 | ||
1.一種老化測試系統,包括老化板和老化測試裝置,所述老化板包括:第一接口件,適于與所述老化測試裝置相連接,實現與所述老化測試裝置之間信號的輸入和/或輸出;第二接口件,適于與待測器件相連接,實現與所述待測器件之間信號的輸入和/或輸出;其特征在于,所述老化測試系統還包括:
引腳匹配單元,與所述老化板活動連接,適于根據所述待測器件的引腳定義,調整所述第一接口件與第二接口件中信號的對應連接關系。
2.如權利要求1所述的老化測試系統,其特征在于,所述老化板還包括多個與所述引腳匹配單元相對應的引腳接口。
3.如權利要求2所述的老化測試系統,其特征在于,所述引腳接口包括與所述第一接口件對應連接的第一接口部,以及與所述第二接口件對應連接的第二接口部。
4.如權利要求3所述的老化測試系統,其特征在于,所述引腳匹配單元包括多個引腳,插接于所述引腳接口,連接所述引腳接口的第一接口部和第二接口部。
5.如權利要求2所述的老化測試系統,其特征在于,所述引腳匹配單元相對于所述第二接口件,安裝于所述老化板的另一側。
6.如權利要求2所述的老化測試系統,其特征在于,所述引腳匹配單元包括:
匹配芯片,適于建立所述第二接口件與所述第一接口件之間的信號匹配;
封裝電路及引腳,所述封裝電路用于封裝所述匹配芯片并通過所述引腳實現所述匹配芯片與外界的信號傳輸。
7.如權利要求6所述的老化測試系統,其特征在于,所述引腳匹配單元還包括:輔助匹配單元,適于對所述匹配芯片的匹配結果進行輔助調整。
8.如權利要求1所述的老化測試系統,其特征在于,所述第二接口件固接于所述老化板。
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