[發明專利]一種氧化硅/氧化鈰復合磨粒的制備方法

有效

• 申請號: 200910196101.X
• 申請日: 2009-09-22
• 公開（公告）號: CN101671538A
• 公開（公告）日: 2010-03-17
• 發明（設計）人: 張澤芳;劉衛麗;宋志棠
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海微系統與信息技術研究所
• 主分類號: C09K3/14
• 分類號: C09K3/14;H01L21/02;B24B37/00
• 代理公司: 上海光華專利事務所
• 代理人: 許亦琳;余明偉

1.一種氧化硅/氧化鈰復合磨粒的制備方法，包括下列步驟：

1）在硅溶膠中加入有機添加劑并溶解，而后加入三價鈰鹽或四價鈰鹽制得分散液，所 述有機添加劑為聚乙烯吡咯烷酮或γ-氨丙基三乙氧基硅烷；

2）將分散液置于帶有聚四氟內襯的高壓釜中，密封后，加熱反應；

3）反應完畢后離心分離、提純、烘干，最終制得氧化硅/氧化鈰復合磨粒。

2.如權利要求1所述氧化硅/氧化鈰復合磨粒的制備方法，其特征在于，步驟1）中，所 述硅溶膠中二氧化硅的質量百分比濃度為1～20%，有機添加劑的加入量為所述分散液 重量的0.1～5%，所述三價鈰鹽或四價鈰鹽在所述分散液中的濃度為25mmol/L～ 250mmol/L。

3.如權利要求1或2所述氧化硅/氧化鈰復合磨粒的制備方法，其特征在于，所述步驟1） 中的三價鈰鹽選自水合硝酸亞鈰、醋酸鈰、氯化鈰、四水硫酸鈰或八水硫酸鈰。

4.如權利要求1所述氧化硅/氧化鈰復合磨粒的制備方法，其特征在于，所述步驟2）中 加熱反應的溫度為100～180℃，加熱反應時間為6～36小時。