[發(fā)明專利]一種化學(xué)機械研磨刮傷的檢測方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200910195835.6 | 申請日： | 2009-09-17 |
| 公開（公告）號： | CN102023106A | 公開（公告）日： | 2011-04-20 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 朱也方;李建平 | 申請（專利權(quán)）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | G01N1/28 | 分類號： | G01N1/28;G01N21/88 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 20120*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 化學(xué) 機械 研磨 檢測 方法 | ||
1.一種化學(xué)機械研磨刮傷的檢測方法，包括：
將完成化學(xué)機械研磨的晶圓在氧化性酸溶液中浸泡一定時間；
對所述經(jīng)過浸泡的晶圓進行檢測。
2.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)機械研磨刮傷的檢測方法，其特征在于，所述氧化性酸溶液為氫氟酸。
3.如權(quán)利要求2所述的化學(xué)機械研磨刮傷的檢測方法，其特征在于，所述氫氟酸的濃度為2％-10％。
4.如權(quán)利要求1或2或3所述的化學(xué)機械研磨刮傷的檢測方法，其特征在于，所述浸泡時間為大于等于30秒小于等于60秒。
5.如權(quán)利要求4所述的化學(xué)機械研磨刮傷的檢測方法，其特征在于，所述浸泡時間為45秒。
6.如權(quán)利要求1或2或3所述的化學(xué)機械研磨刮傷的檢測方法，其特征在于，對所述經(jīng)過浸泡的晶圓進行檢測是利用顆粒檢測儀進行的。
7.如權(quán)利要求6所述的化學(xué)機械研磨刮傷的檢測方法，其特征在于，還包括：利用所述顆粒檢測儀的第二通道對應(yīng)測量值與第一通道對應(yīng)測量值的比值判斷細微刮傷。
8.如權(quán)利要求7所述的化學(xué)機械研磨刮傷的檢測方法，其特征在于，所述比值小于0.8。
9.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)機械研磨刮傷的檢測方法，其特征在于，所述氧化性酸溶液為氯化氫和過氧水的混合溶液。
10.如權(quán)利要求9所述的化學(xué)機械研磨刮傷的檢測方法，其特征在于，氯化氫和過氧水的混合溶液的PH值為2-2.5。
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