[發(fā)明專利]一種減小接觸孔關(guān)鍵尺寸的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910195810.6
• 申請(qǐng)日: 2009-09-15
• 公開（公告）號(hào): CN102024748A
• 公開（公告）日: 2011-04-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙林林;韓寶東
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/768
• 分類號(hào): H01L21/768;H01L23/52;H01L27/105;H01L27/108;H01L27/11;H01L27/112;H01L27/04
• 代理公司: 北京市磐華律師事務(wù)所 11336
• 代理人: 董巍;顧珊

1.一種用于形成接觸孔的半導(dǎo)體制造工藝方法，所述方法包括如下步驟：

在有源區(qū)上沉積一高應(yīng)力覆蓋層；

在所述高應(yīng)力覆蓋層上沉積第一介電層；

在所述第一介電層上沉積第二介電層；

在所述第二介電層上沉積一鈍化層；

在所述鈍化層上沉積一底部抗反射層；

依次刻蝕所述底部抗反射層、所述鈍化層、所述第二介電層、所述第一介電層和高應(yīng)力覆蓋層以蝕刻出一接觸孔，直到穿透所述高應(yīng)力覆蓋層露出所述有源區(qū)。

2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造工藝方法，其中所述蝕刻出一接觸孔的步驟中，所述第二介電層的蝕刻速率比所述第一介電層的蝕刻速率慢。

3.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造工藝方法，其中所述高應(yīng)力覆蓋層的材料為SiN，厚度大約為450埃。

4.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造工藝方法，其中所述第一介電層的材料為硅酸玻璃，厚度為1000至2500埃。

5.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造工藝方法，其中所述第二介電層的材料為正硅酸乙酯，厚度為1000至2500埃。

6.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造工藝方法，其中所述鈍化層的材料為二氧化硅，厚度大約為150埃。

7.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造工藝方法，其中所述刻蝕接觸孔的工藝為干法刻蝕。

8.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造工藝方法，其中所述接觸孔在與刻蝕方向垂直的方向上的寬度為0.09μm。

9.一種包含接觸孔的半導(dǎo)體器件，所述半導(dǎo)體器件包括：

在有源區(qū)上沉積的一高應(yīng)力覆蓋層；

在所述高應(yīng)力覆蓋層上沉積的第一介電層；

在所述第一介電層上沉積的第二介電層；

在所述第二介電層上沉積的一鈍化層；

在所述鈍化層上沉積的一底部抗反射層；

依次刻蝕所述底部抗反射層、所述鈍化層、所述第二介電層、所述第一介電層和高應(yīng)力覆蓋層而形成的一接觸孔，所述接觸孔穿透所述高應(yīng)力覆蓋層直到露出所述有源區(qū)。

10.如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體器件，其中所述蝕刻出一接觸孔的步驟中，所述第二介電層的蝕刻速率比所述第一介電層的蝕刻速率慢。

11.如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體器件，其中所述高應(yīng)力覆蓋層的材料為SiN，厚度大約為450埃。

12.如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體器件，其中所述第一介電層的材料為硅酸玻璃，厚度為1000至2500埃。

13.如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體器件，其中所述第二介電層的材料為正硅酸乙酯，厚度為1000至2500埃。

14.如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體器件，其中所述鈍化層的材料為二氧化硅，厚度大約為150埃。

15.如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體器件，其中所述刻蝕接觸孔的工藝為干法刻蝕。

16.如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體器件，其中所述接觸孔在與刻蝕方向垂直的方向上的寬度為0.09μm。

17.一種包含通過如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體器件的集成電路，其中所述集成電路選自隨機(jī)存取存儲(chǔ)器、動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器、同步隨機(jī)存取存儲(chǔ)器、靜態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器、只讀存儲(chǔ)器、可編程邏輯陣列、專用集成電路、掩埋式DRAM和射頻電路。

18.一種包含通過如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體器件的電子設(shè)備，其中所述電子設(shè)備個(gè)人計(jì)算機(jī)、便攜式計(jì)算機(jī)、游戲機(jī)、蜂窩式電話、個(gè)人數(shù)字助理、攝像機(jī)和數(shù)碼相機(jī)。