[發明專利]晶圓可接受測試的實時監控方法

無效

• 申請號: 200910194620.2
• 申請日: 2009-08-26
• 公開（公告）號: CN101996856A
• 公開（公告）日: 2011-03-30
• 發明（設計）人: 孫新光;莫保章;倪曉昆
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/66
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種晶圓可接受測試的實時監控方法，將晶圓劃分為若干點，每個點有若干測試參數進行測試，其中部分參數為關鍵參數，其特征在于，包括步驟：

設定晶圓可接受測試的類型和判斷標準；

進行晶圓可接受測試；

對晶圓可接受測試得到的測試數據進行收集和整理；

根據所述類型和判斷標準進行判斷，對所述測試數據進行監控，如果判斷合格，則繼續測試，否則，暫停測試，轉入人工處理。

2.如權利要求1所述的晶圓可接受測試的實時監控方法，其特征在于，所述類型包括：

類型A：設定任一點的關鍵參數不符合規格的數量；

類型B：設定晶圓里任一關鍵參數不符合規格的點的數量；

類型C：設定晶圓里任一關鍵參數不符合規格的點的比率；

類型D：設定晶圓里所有關鍵參數不符合規格的點的比率。

3.如權利要求1所述的晶圓可接受測試的實時監控方法，其特征在于，所述人工處理包括：

退出測試程序，停機檢查；

關掉監控，繼續測試；

保持監控，繼續測試。