[發明專利]真空鍍膜用處理裝置

在審

• 申請號: 200910192967.3
• 申請日: 2009-09-30
• 公開（公告）號: CN101665913A
• 公開（公告）日: 2010-03-10
• 發明（設計）人: 楊明生;范繼良;劉惠森;王曼媛;王勇
• 申請（專利權）人: 東莞宏威數碼機械有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/54
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

1.一種真空鍍膜用處理裝置，包括柜體、處理板及蒸發源，所述柜體呈中空結構， 所述中空結構形成密封腔，所述蒸發源與所述處理板設置于所述密封腔內，且 所述處理板位于所述蒸發源上方，其特征在于：還包括擋板機構，所述擋板機 構包括擋板、磁流體、冷卻軸及擋板驅動機構，所述磁流體安裝于所述柜體上， 所述擋板驅動機構位于所述柜體外并與所述冷卻軸的一端連接，所述冷卻軸的 另一端樞接地穿過所述磁流體并伸入所述密封腔內，所述擋板與所述冷卻軸固 定連接，所述擋板容置于所述密封腔內且位于所述蒸發源與所述處理板之間， 所述擋板隔離或開通所述蒸發源與所述處理板的空間連接，所述擋板驅動機構 驅動所述冷卻軸，所述冷卻軸帶動所述擋板轉動。

2.如權利要求1所述的真空鍍膜用處理裝置，其特征在于：沿垂直于所述冷卻軸 方向的所述擋板的截面呈直角梯形或矩形，于截面呈矩形的所述擋板上設置有 加強筋。

3.如權利要求1所述的真空鍍膜用處理裝置，其特征在于：所述擋板包括第一擋 板及第二擋板，所述冷卻軸包括第一冷卻軸及第二冷卻軸，所述第一擋板的一 側安裝在所述第一冷卻軸上，所述第一擋板的另一側向所述第二擋板延伸形成 第一卡接部，所述第二擋板的一側安裝在所述第二冷卻軸上，且所述第二擋板 的另一側向所述第一擋板延伸形成與所述第一卡接部相卡合對接的第二卡接 部，于所述第一卡接部與所述第二卡接部卡合對接時隔離所述蒸發源與所述處 理板的空間連接。

4.如權利要求3所述的真空鍍膜用處理裝置，其特征在于：所述第一擋板與所述 第二擋板卡合對接時的面積之和大于所述處理板的面積，且所述第一擋板的側 緣與所述柜體相對應的內壁的距離小于10毫米，所述第二擋板的側緣與所述柜 體相對應的內壁的距離小于10毫米。

5.如權利要求1所述的真空鍍膜用處理裝置，其特征在于：所述擋板機構還包括 傳動軸及真空軸承，所述傳動軸具有凹槽，所述冷卻軸具有與所述凹槽相卡合 對接的凸塊，所述傳動軸橫跨所述密封腔且兩端分別與所述真空軸承樞接，所 述真空軸承與所述柜體固定連接。

6.如權利要求5所述的真空鍍膜用處理裝置，其特征在于：所述凹槽與所述凸塊 卡合對接處位于所述真空軸承內。

7.如權利要求1所述的真空鍍膜用處理裝置，其特征在于：所述擋板驅動機構包 括馬達、主動齒輪及從動齒輪，所述馬達安裝在所述柜體的外壁上且與所述主 動齒輪連接，所述從動齒輪安裝于所述冷卻軸上且與所述主動齒輪相嚙合。

8.如權利要求7所述的真空鍍膜用處理裝置，其特征在于：所述馬達為擺動汽缸 或伺服電機。

9.如權利要求1所述的真空鍍膜用處理裝置，其特征在于，所述冷卻軸包括：

軸體，所述軸體沿軸向方向開有中空的冷卻腔；

冷卻循環室，所述冷卻循環室與所述軸體固定連接，所述冷卻循環室開有 進口和出口，所述進口與所述冷卻腔連通；

輸入管，所述輸入管與所述冷卻循環室固定連接；

循環管，所述循環管與所述輸入管固定連接且懸于所述冷卻腔內，所述循 環管的一端與所述輸入管連通，另一端與所述冷卻腔連通；及

輸出管，所述輸出管與所述冷卻循環室固定連接并與所述冷卻循環室的出 口連通。