[發明專利]一種分光裝置、激光檢測裝置及激光檢測方法

有效

• 申請號: 200910190617.3
• 申請日: 2009-09-25
• 公開（公告）號: CN102033320A
• 公開（公告）日: 2011-04-27
• 發明（設計）人: 高云峰;劉飛;高海軍
• 申請（專利權）人: 深圳市大族激光科技股份有限公司
• 主分類號: G02B27/10
• 分類號: G02B27/10;G01J1/00
• 代理公司: 深圳中一專利商標事務所 44237
• 代理人: 張全文

技術領域

本發明屬于激光領域，尤其涉及一種分光裝置、激光檢測裝置及激光檢測方法。

背景技術

現有技術中，在激光功率或激光能量測試時會存在如下幾個問題：(1)激光功率計測試量程不夠；(2)激光功率計在測試大功率連續出光和激光能量計在測試大單點激光能量時，測試探頭常常損壞，同時儀器維修成本很高；(3)被測激光常常偏離測試探頭中心位置，導致測試結果不準確。

發明內容

本發明實施例的目的在于提供一種分光裝置、激光檢測裝置及激光檢測方法，旨在解決現有技術中測試量程不夠、維修成本高以及測試結果不準確的問題。

本發明實施例是這樣實現的，一種分光裝置，包括：可調支架，活動設置于所述可調支架上的鏡框，與所述鏡框的邊呈45度角斜向設置于所述鏡框內的鏡片固定架，設置于所述鏡片固定架內的分光鏡片，設置于所述鏡框的兩個相對應側面上的入光口和出光口，設置于所述鏡框的另一側面上的吸收頭以及可拆卸的十字叉；入射光經所述入光口入射后被所述分光鏡片分成兩路，一路經所述出光口輸出，另一路被所述吸收頭吸收；所述可拆卸的十字叉位于所述入光口或所述出光口，通過調節所述可調支架使經出光口輸出的出射光與所述入射光中心同軸。

進一步地，所述吸收頭包括：設置于所述鏡框的另一側面上的散熱器以及與所述散熱器相配合的水冷環。

本發明實施例的目的還在于提供一種激光檢測裝置，所述激光檢測裝置包括上述分光裝置以及連接在所述分光裝置的出光口的功率計，通過所述功率計對激光功率進行檢測。

本發明實施例的目的還在于提供一種激光檢測裝置，所述激光檢測裝置包括上述分光裝置以及連接在所述分光裝置的出光口的能量計，通過所述能量計對激光能量進行檢測。

本發明實施例的另一目的在于提供一種采用上述分光裝置進行激光檢測的激光檢測方法，包括下述步驟：

將十字叉置于所述入光口，通過調節所述可調支架使經所述出光口輸出的出射光與入射光中心同軸；

將十字叉置于所述出光口，通過調節所述可調支架使經所述出光口輸出的出射光與入射光中心同軸；

通過連接在所述出光口的功率計測量激光功率或通過連接在所述出光口的能量計測量激光能量。

進一步地，經所述出光口輸出的出射光與所述入射光平行。

進一步地，被所述吸收頭吸收的光與經所述出光口輸出的出射光成90度。

進一步地，所述激光功率檢測方法還包括下述步驟：將吸收頭進行冷卻。

進一步地，通過自然冷卻或水冷的方式對所述吸收頭進行冷卻。

進一步地，所述激光檢測方法還包括下述步驟：采用多次測量取平均的方式獲得所述激光功率或激光能量。

本發明實施例提供的分光裝置將可拆卸的十字叉置于入光口或出光口，通過反復多次調節可調支架使經出光口輸出的出射光與入射光中心同軸；再結合功率計對激光功率進行檢測或者結合能量計對激光能量進行檢測，擴大了測試量程；降低了探頭損壞頻率，節約了維修成本；提高了測試精度。

附圖說明

圖1是本發明實施例提供的分光裝置的結構示意圖；

圖2是本發明實施例提供的入射光經分光鏡片的光路圖；

圖3是本發明實施例提供的激光功率檢測方法的實現流程圖；

圖4是本發明實施例提供的十字叉的位置示意圖。

具體實施方式

為了使本發明的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本發明進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發明，并不用于限定本發明。

本發明實施例提供的分光裝置將可拆卸的十字叉置于入光口或出光口，通過調節可調支架使經出光口輸出的出射光與入射光中心同軸；再結合功率計對激光功率進行檢測或結合能量計對激光能量進行檢測，擴大了測試量程；降低了探頭損壞頻率，節約了維修成本；提高了測試精度。

圖1示出了本發明實施例提供的分光裝置的結構，為了便于說明，僅示出了與本發明實施例相關的部分，詳述如下。

分光裝置包括：可調支架1，活動設置于可調支架1上的鏡框2，與鏡框2的邊呈45度角斜向設置于鏡框2內的鏡片固定架3，設置于鏡片固定架3內的分光鏡片4，設置于鏡框2的兩個相對應側面上的入光口5和出光口6，設置于鏡框2的另一側面上的吸收頭7以及可拆卸的十字叉8；入射光經入光口5入射后被分光鏡片4分成兩路，一路經出光口6輸出，另一路被吸收頭7吸收；可拆卸的十字叉8位于入光口5或出光口6，通過調節可調支架1使經出光口6輸出的出射光與入射光中心同軸。