[發明專利]一種分光裝置、激光檢測裝置及激光檢測方法有效
| 申請號: | 200910190617.3 | 申請日: | 2009-09-25 |
| 公開(公告)號: | CN102033320A | 公開(公告)日: | 2011-04-27 |
| 發明(設計)人: | 高云峰;劉飛;高海軍 | 申請(專利權)人: | 深圳市大族激光科技股份有限公司 |
| 主分類號: | G02B27/10 | 分類號: | G02B27/10;G01J1/00 |
| 代理公司: | 深圳中一專利商標事務所 44237 | 代理人: | 張全文 |
| 地址: | 518000 廣東省深*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 分光 裝置 激光 檢測 方法 | ||
1.一種分光裝置,其特征在于,包括:
可調支架,活動設置于所述可調支架上的鏡框,與所述鏡框的邊呈45度角斜向設置于所述鏡框內的鏡片固定架,設置于所述鏡片固定架內的分光鏡片,設置于所述鏡框的兩個相對應側面上的入光口和出光口,設置于所述鏡框的另一側面上的吸收頭以及可拆卸的十字叉;
入射光經所述入光口入射后被所述分光鏡片分成兩路,一路經所述出光口輸出,另一路被所述吸收頭吸收;
所述可拆卸的十字叉位于所述入光口或所述出光口,通過調節所述可調支架使經出光口輸出的出射光與所述入射光中心同軸。
2.如權利要求1所述的分光裝置,其特征在于,所述吸收頭包括:設置于所述鏡框的另一側面上的散熱器以及與所述散熱器相配合的水冷環。
3.一種激光檢測裝置,其特征在于,所述激光檢測裝置包括權利要求1所述的分光裝置以及連接在所述分光裝置的出光口的功率計,通過所述功率計對激光功率進行檢測。
4.一種激光檢測裝置,其特征在于,所述激光檢測裝置包括權利要求1所述的分光裝置以及連接在所述分光裝置的出光口的能量計,通過所述能量計對激光能量進行檢測。
5.一種采用權利要求1所述的分光裝置進行激光檢測的激光檢測方法,其特征在于,包括下述步驟:
將十字叉置于所述入光口,通過調節所述可調支架使經所述出光口輸出的出射光與入射光中心同軸;
將十字叉置于所述出光口,通過調節所述可調支架使經所述出光口輸出的出射光與入射光中心同軸;
通過連接在所述出光口的功率計測量激光功率或通過連接在所述出光口的能量計測量激光能量。
6.如權利要求5所述的激光檢測方法,其特征在于,經所述出光口輸出的出射光與所述入射光平行。
7.如權利要求5所述的激光檢測方法,其特征在于,被所述吸收頭吸收的光與經所述出光口輸出的出射光成90度。
8.如權利要求5所述的激光檢測方法,其特征在于,所述激光功率檢測方法還包括下述步驟:
將吸收頭進行冷卻。
9.如權利要求8所述的激光檢測方法,其特征在于,通過自然冷卻或水冷的方式對所述吸收頭進行冷卻。
10.如權利要求5所述的激光檢測方法,其特征在于,所述激光檢測方法還包括下述步驟:
采用多次測量取平均的方式獲得所述激光功率或激光能量。
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